北京杜克泰克科技有限公司江仁林获国家专利权
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龙图腾网获悉北京杜克泰克科技有限公司申请的专利一种用于半导体洁净室MA检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223742096U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520004019.7,技术领域涉及:G01N1/24;该实用新型一种用于半导体洁净室MA检测装置是由江仁林;黄金锋;周明;王如宝;刘正铎;唐炳兰;尚传新设计研发完成,并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体洁净室MA检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于MA检测技术领域,公开了一种用于半导体洁净室MA检测装置,包括检测仪器,检测仪器连接有取样管,取样管连接有富集箱,富集箱连接有连接管,连接管连接有抽气泵,抽气泵连接有进气管,富集箱连接有隔板,隔板连接有富集管,隔板开设有通气口,通气口与富集管配合,富集管连接有活性炭柱,隔板连接有电加热丝,电加热丝套设于富集管外侧,富集箱连接有载气管,载气管连接有载气瓶,富集箱连接有防逆流装置。本实用新型可以将环境中低浓度的MA物质有效地富集起来,使进入检测装置后续部分的MA物质浓度提高,从而增强检测信号,便于更灵敏地检测微量的MA物质。
本实用新型一种用于半导体洁净室MA检测装置在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体洁净室MA检测装置,其特征在于:包括检测仪器1,所述检测仪器1连接有取样管2,所述取样管2连接有富集箱4,所述富集箱4连接有连接管8,所述连接管8连接有抽气泵5,所述抽气泵5连接有进气管6,所述富集箱4连接有隔板3,所述隔板3连接有富集管11,所述隔板3开设有通气口10,所述通气口10与富集管11配合,所述富集管11连接有活性炭柱13,所述隔板3连接有电加热丝12,所述电加热丝12套设于富集管11外侧,所述富集箱4连接有排气管14和载气管9,所述载气管9连接有载气瓶,所述富集箱4连接有防逆流装置。
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