上海悦匠实业有限公司张洁获国家专利权
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龙图腾网获悉上海悦匠实业有限公司申请的专利一种用于半导体真空设备的快速检漏工具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223741883U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520402807.1，技术领域涉及：G01M3/20；该实用新型一种用于半导体真空设备的快速检漏工具是由张洁设计研发完成，并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体真空设备的快速检漏工具在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于半导体真空设备的快速检漏工具，包括检漏盘，所述检漏盘呈圆盘状，具有第一端面和第二端面，所述第一端面与所述刀口法兰匹配，用以连接所述刀口法兰，所述第一端面设置有密封槽，所述密封槽为圆环形槽，所述密封槽的中心与所述检漏盘的中心重合，所述密封槽中可设置密封圈；所述第二端面用以连接氦检仪，所述检漏盘的中心设置有贯通的联通孔，所述第二端面在所述联通孔的外周设置有与所述氦检仪的检测接口匹配的连接槽，所述连接槽与所述氦检仪的检测接口连接时，所述检测接口连接的管路与所述联通孔连通。采用本实用新型提供的用于半导体真空设备的快速检漏工具，实现半导体真空设备各个部件的快速检漏。
本实用新型一种用于半导体真空设备的快速检漏工具在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体真空设备的快速检漏工具，半导体真空设备包括依次连接的PVD腔体、开关阀门和冷泵，所述PVD腔体、所述开关阀门和所述冷泵的连接端口均具有刀口法兰，所述PVD腔体、所述开关阀门和所述冷泵均通过所述刀口法兰相互连接，其特征在于，快速检漏工具包括检漏盘，所述检漏盘呈圆盘状，具有第一端面和第二端面，所述第一端面与所述刀口法兰匹配，用以连接所述刀口法兰，所述第一端面设置有密封槽，所述密封槽为圆环形槽，所述密封槽的中心与所述检漏盘的中心重合，所述密封槽中可设置密封圈；所述第二端面用以连接氦检仪，所述检漏盘的中心设置有贯通的联通孔，所述第二端面在所述联通孔的外周设置有与所述氦检仪的检测接口匹配的连接槽，所述连接槽与所述氦检仪的检测接口连接时，所述检测接口连接的管路与所述联通孔连通。
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