上海悦匠实业有限公司金耀耀获国家专利权
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龙图腾网获悉上海悦匠实业有限公司申请的专利一种用于晶圆温度检测的热电偶固定支架获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223741768U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520455902.8，技术领域涉及：G01K1/14；该实用新型一种用于晶圆温度检测的热电偶固定支架是由金耀耀设计研发完成，并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆温度检测的热电偶固定支架在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于晶圆温度检测的热电偶固定支架，包括第一固定架和第二固定架，所述第一固定架纵向设置，所述第二固定架横向设置，所述第二固定架具有第一端和第二端，所述第一端与所述第一固定架的中部固定连接，所述第二端设置有开口槽，所述开口槽从第二端的端部沿所述第二固定架的长度方向延伸设置，所述开口槽中靠近第二端处设置有与热电偶的固定端匹配的安装槽，所述安装槽从所述第二固定架的顶部沿所述第二固定架的高度方向延伸设置，并在所述开口槽中形成定位台阶，所述定位台阶限定所述固定端的位置。采用本实用新型提供的用于晶圆温度检测的热电偶固定支架，实现热电偶在设定高度的快速定位固定。
本实用新型一种用于晶圆温度检测的热电偶固定支架在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆温度检测的热电偶固定支架，其特征在于，包括第一固定架和第二固定架，所述第一固定架纵向设置，所述第二固定架横向设置，所述第二固定架具有第一端和第二端，所述第一端与所述第一固定架的中部固定连接，所述第二端设置有开口槽，所述开口槽从第二端的端部沿所述第二固定架的长度方向延伸设置，所述开口槽中靠近第二端处设置有与热电偶的固定端匹配的安装槽，所述安装槽从所述第二固定架的顶部沿所述第二固定架的高度方向延伸设置，并在所述开口槽中形成定位台阶，所述定位台阶限定所述固定端的位置。
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