泰微科技(珠海)有限公司尹陈林获国家专利权
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龙图腾网获悉泰微科技(珠海)有限公司申请的专利全自动晶圆测量设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223741481U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520164249.X，技术领域涉及：G01B11/00；该实用新型全自动晶圆测量设备是由尹陈林;李浩辉设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本全自动晶圆测量设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种全自动晶圆测量设备，包括：底座；外罩，安装在底座上，与底座形成一个封闭的检测室；上下料模组，设置在所述外罩的前侧，所述上下料模组具有上下料室和门，所述上下料室和所述检测室通过设置在所述外罩上的开口相连通，所述上下料室的前侧设有取放口，所述门用于开闭所述取放口；搬运模组，位于所述检测室内，并安装在所述底座上；寻边拍照模组，位于所述检测室内，并安装在搬运模组的一侧；测量模组，位于所述检测室内，并安装在搬运模组的另一侧；控制箱，与所述上下料模组、搬运模组、寻边拍照模组及测量模组电气连接。上述的全自动晶圆测量设备，集成度高，结构紧凑且简单，容易维护，占用空间小，且操作简单。
本实用新型全自动晶圆测量设备在权利要求书中公布了：1.一种全自动晶圆测量设备，其特征在于，包括： 底座； 外罩，安装在底座上，与底座形成一个封闭的检测室； 上下料模组，设置在所述外罩的前侧，所述上下料模组具有上下料室和门，所述上下料室和所述检测室通过设置在所述外罩上的开口相连通，所述上下料室的前侧设有取放口，所述门用于开闭所述取放口； 搬运模组，位于所述检测室内，并安装在所述底座上； 寻边拍照模组，位于所述检测室内，并安装在搬运模组的一侧； 测量模组，位于所述检测室内，并安装在搬运模组的另一侧； 控制箱，位于所述检测室内，并与所述上下料模组、搬运模组、寻边拍照模组及测量模组电气连接。
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