远山新材料科技有限公司刘明亮获国家专利权
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龙图腾网获悉远山新材料科技有限公司申请的专利石英扩散板间隙量测工具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223741443U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520429969.4,技术领域涉及:G01B5/14;该实用新型石英扩散板间隙量测工具是由刘明亮设计研发完成,并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本石英扩散板间隙量测工具在说明书摘要公布了:本申请公开石英扩散板间隙量测工具,包括固定架和量测机构,所述固定架包括底座、转接杆和量测连接板,所述底座设有与MOCVD腔体底座边缘相匹配的弧形结构和弧形卡槽,所述转接杆沿竖向延伸,并垂直连接在所述底座的顶部,所述量测连接板水平连接在所述转接杆的上部;所述量测机构包括载板、标准尺具和量测舌,所述载板沿竖向延伸,并以能够相对靠近或远离所述转接杆的方式通过其上部连接所述量测连接板,所述标准尺具沿竖向延伸固定连接在所述载板的内侧面,所述量测舌以能够调节高度的方式设置在所述载板的外侧面,并正对所述标准尺具。本申请提供的石英扩散板间隙量测工具量测方便,测量效率高,量测准确性高。
本实用新型石英扩散板间隙量测工具在权利要求书中公布了:1.石英扩散板间隙量测工具,其特征在于,包括固定架和量测机构,所述固定架包括底座、转接杆和量测连接板,所述底座设有与MOCVD腔体底座边缘相匹配的弧形结构和弧形卡槽,所述转接杆沿竖向延伸,并垂直连接在所述底座的顶部,所述量测连接板水平连接在所述转接杆的上部; 所述量测机构包括载板、标准尺具和量测舌,所述载板沿竖向延伸,并以能够相对靠近或远离所述转接杆的方式通过其上部连接所述量测连接板,所述标准尺具沿竖向延伸固定连接在所述载板的内侧面,所述量测舌以能够调节高度的方式设置在所述载板的外侧面,并正对所述标准尺具。
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