苏州英尔捷半导体有限公司李伟获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州英尔捷半导体有限公司申请的专利一种用于晶圆表面加工的烘干装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223741167U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520133950.5，技术领域涉及：F26B11/18；该实用新型一种用于晶圆表面加工的烘干装置是由李伟设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆表面加工的烘干装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆表面加工的烘干装置，包括支架，支架一侧固定连接有驱动电机，支架两侧底部转动连接有转盘，转盘之间圆周对称设置有四组固定杆，一组固定杆与转盘滑动连接，其余固定杆与转盘固定连接，固定杆上固定连接有若干组弹性夹持件，弹性夹持件中间卡合设置有晶圆本体，固定杆下方设置有抽风装置，抽风装置两端与支架固定连接，固定杆上方设置有供气主管道，供气主管道与支架固定连接，供气主管道下方固定连接有供气分管道，本实用新型通过供气管道从上方对转动的晶圆的两面进行全面吹气烘干，同时晶圆底部设置有抽风装置加速晶圆附近的空气流动，从而提高了晶圆的烘干效率。
本实用新型一种用于晶圆表面加工的烘干装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆表面加工的烘干装置，包括支架1，其特征在于：所述支架1一侧固定连接有驱动电机3，所述支架1两侧底部转动连接有转盘2，所述转盘2外侧中心处与所述驱动电机3输出轴固定连接，所述转盘2之间圆周对称设置有四组固定杆5，一组所述固定杆5两端与所述转盘2滑动连接，其余所述固定杆5两端与所述转盘2固定连接，所述固定杆5上固定连接有弹性夹持件6，所述弹性夹持件6中间卡合设置有晶圆本体7，所述固定杆5下方设置有抽风装置8，所述抽风装置8两端与所述支架1固定连接，所述固定杆5上方设置有供气主管道4，所述供气主管道4与所述支架1固定连接，所述供气主管道4下方固定连接有供气分管道401。
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