上海则欧机电科技有限公司田东伟获国家专利权
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龙图腾网获悉上海则欧机电科技有限公司申请的专利适用于EUV光刻机的高洁净度分子泵的转子结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223739664U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202522563930.4，技术领域涉及：F04D19/04；该实用新型适用于EUV光刻机的高洁净度分子泵的转子结构是由田东伟;段金生设计研发完成，并于2025-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本适用于EUV光刻机的高洁净度分子泵的转子结构在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种适用于EUV光刻机的高洁净度分子泵的转子结构，包括涡轮转子，位于上部，外部设置有涡轮结构，涡轮转子的内部设置有第四牵引轮，作为二级牵引轮压缩机构；牵引轮转子，位于下部，作为一级牵引轮压缩机构；涡旋叶列，位于下部且设置在牵引轮转子内侧，涡轮结构顶部的气路入口作为进气端，涡轮结构、一级牵引轮压缩机构、涡旋叶列、第四牵引轮从上游至下游依次设置，第四牵引轮的气路出口与转子总成内部的主轴装配区连通。本实用新型将二级牵引轮设置在转子内侧，利用螺旋的高速运转赋予污染物更高的冲量，将其有效排出，极大降低其逆流的概率，解决了在定子上设置牵引轮的情况下，仅靠牵引作用难以将污染物有效排出的问题。
本实用新型适用于EUV光刻机的高洁净度分子泵的转子结构在权利要求书中公布了：1.一种适用于EUV光刻机的高洁净度分子泵的转子结构，其特征在于，包括转子总成，所述转子总成包括： 涡轮转子7，位于转子总成上部，涡轮转子7外部设置有涡轮结构，用于形成涡轮压缩机构，涡轮转子7的内侧设置有第三牵引轮26与第四牵引轮31，作为二级牵引轮压缩机构； 牵引轮转子，位于转子总成下部，作为一级牵引轮压缩机构； 涡旋叶列9，位于转子总成中央中下部且以环状设置在牵引轮转子内侧，用于形成涡旋压缩机构； 所述涡轮结构顶部的气路入口作为转子总成的进气端，涡轮结构底部的气路出口连通一级牵引轮压缩机构的气路入口，一级牵引轮压缩机构的气路出口与涡旋叶列9的气路入口连通； 所述涡旋叶列9的气路出口同时与第三牵引轮26、第四牵引轮31连通，第四牵引轮31顶部气路出口与第三牵引轮26底部的气路出口分别与转子总成内部主轴装配区的顶部与底部连通。
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