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江苏集芯先进材料有限公司李远田获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏集芯先进材料有限公司申请的专利用于预测SiC晶体粗加工开裂风险的装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223738211U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423191317.6,技术领域涉及:C30B29/36;该实用新型用于预测SiC晶体粗加工开裂风险的装置是由李远田设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

用于预测SiC晶体粗加工开裂风险的装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开用于预测SiC晶体粗加工开裂风险的装置,包括坩埚组件、保温组件和保温板;坩埚组件包括坩埚、密封件和多孔石墨板,多孔石墨板安装在坩埚内部,坩埚上部通过坩埚盖密封,坩埚盖上开设有气孔,气孔与坩埚内部连通;密封件安装在坩埚内部,密封件与多孔石墨板共同限定出长晶空间,籽晶安装在密封件顶部内壁。保温组件包裹在坩埚组件外部;保温板设置在保温组件内部,且位于坩埚组件上部。基于上述装置,本实用新型能够根据工艺运行前后,保温板和坩埚组件中部分组件重量的差值,及晶体生长面型参数能够准确预测出晶体粗加工过程中的裂锭率,从而判断晶体开裂的风险,以避免加工浪费,同时能够起到监控某个工艺参数异常的作用。

本实用新型用于预测SiC晶体粗加工开裂风险的装置在权利要求书中公布了:1.一种用于预测SiC晶体粗加工开裂风险的装置,其特征在于,包括 坩埚组件,所述坩埚组件包括坩埚、密封件和多孔石墨板,所述多孔石墨板安装在所述坩埚内部,将坩埚内部分隔成生长区和原料区,所述坩埚上部通过坩埚盖密封,所述坩埚盖上开设有气孔,所述气孔与所述坩埚内部连通;所述密封件安装在所述坩埚内部,其顶部与所述坩埚盖内壁紧密接触,所述密封件与所述多孔石墨板共同限定出长晶空间,籽晶安装在所述密封件顶部内壁上; 保温组件,所述保温组件包裹在所述坩埚组件外部,所述坩埚组件底壁与侧壁紧贴所述保温组件侧壁,所述坩埚的顶部与所述保温组件顶部之间具有设定距离; 保温板,所述保温板设置在所述保温组件内部,且位于所述坩埚组件上部,所述保温板侧壁与所述保温组件内壁紧密接触。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏集芯先进材料有限公司,其通讯地址为:221000 江苏省徐州市徐州高新技术产业开发区电子信息产业园二期二号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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