楚赟精工科技(上海)有限公司梁新华获国家专利权
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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利一种气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223738136U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520106898.4，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种气相沉积设备是由梁新华;刘永明设计研发完成，并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气相沉积设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种气相沉积设备，该气相沉积设备的进气装置包括工艺进气装置和吹扫进气装置，工艺进气装置至少包括两个子工艺进气装置，以向衬底表面的不同区域提供层流工艺气体，提供更加均匀的源气密度，有利于外延的均匀生长；吹扫进气装置至少包括两个子吹扫进气装置，以向层流工艺气体和工艺腔室顶壁之间的空间提供至少两路吹扫气体，吹扫气将工艺腔室的顶板与衬底或源气隔离，将源气尽可能的限制于靠近衬底表面的空间，阻止源气向上扩散至工艺腔室的顶壁，设置多路吹扫气流以提高吹扫气的隔离效果，在不同区域或方向上提供隔离作用，有助于获得均匀的反应气流和质量良好的衬底薄膜。
本实用新型一种气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积设备，其特征在于，包括： 工艺腔室，设置有用于承载衬底的基座； 进气装置，设置于所述工艺腔室的外侧壁，所述进气装置包括工艺进气装置和吹扫进气装置；其中， 所述工艺进气装置至少包括两个子工艺进气装置，各所述子工艺进气装置均与所述工艺腔室连通，以向所述衬底表面的不同区域提供层流工艺气体； 所述吹扫进气装置至少包括两个子吹扫进气装置，各所述子吹扫进气装置位于各所述子工艺进气装置上方，且均与所述工艺腔室连通，以向所述层流工艺气体和所述工艺腔室的顶壁之间的空间提供至少两路吹扫气体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人楚赟精工科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路665号三层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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