嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心闻梦瑶获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心申请的专利一种用于原子层沉积设备的可拆卸格挡样品托盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223738135U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423211445.2，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种用于原子层沉积设备的可拆卸格挡样品托盘是由闻梦瑶;明帅强;李明;王浙加;李国庆;戴昕童;车睿远;张亦哲;徐硕设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于原子层沉积设备的可拆卸格挡样品托盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉一种用于原子层沉积设备的可拆卸格挡样品托盘，包括：承载部，用于至少部分承载样品；所述承载部至少部分支撑于样品台上；镂空部，用于使至少部分所述样品与所述样品台接触；所述镂空部设置于所述承载部上；定位部，用于与所述样品台适配定位；所述定位部设置于所述承载部上。本申请相比于现有技术中的单层托盘，镂空设置结构可以把样品直接放置在内腔上，可以使样品与内腔之间的热传递更为直接，无须通过托盘的二次传递；本申请提供的一种用于原子层沉积设备的可拆卸格挡样品托盘只限制样品的位置，而不影响前驱体气流的分布。对于工艺样品的非均匀性有较大提升，适用于大批量的同规格的小体积小面积的样品。
本实用新型一种用于原子层沉积设备的可拆卸格挡样品托盘在权利要求书中公布了：1.一种用于原子层沉积设备的可拆卸格挡样品托盘，其特征在于，包括： 承载部，用于至少部分承载样品；所述承载部至少部分支撑于样品台上； 镂空部，用于使至少部分所述样品与所述样品台接触；所述镂空部设置于所述承载部上； 定位部，用于与所述样品台适配定位；所述定位部设置于所述承载部上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心，其通讯地址为：314001 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号(嘉兴科技城)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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