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龙图腾网获悉研微(江苏)半导体科技有限公司申请的专利气体传输组件和半导体处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223738132U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423259939.8，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型气体传输组件和半导体处理装置是由许正昱;苏扬扬;韩萍;胡克咸设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本气体传输组件和半导体处理装置在说明书摘要公布了：提供了一种气体传输组件和半导体处理装置。该组件包括加热基座、第一进气模块、第二进气模块、第一阀块组、第二阀块组和出气模块，第一进气模块嵌设在加热基座中，第一进气模块的内部具有多个第一进气通道；第二进气模块设置在第一进气模块的上方，第二进气模块的内部具有多个第二进气通道；出气模块嵌设在加热基座中，出气模块的内部具有出气通道；第一阀块组和第二阀块组设置在加热基座的上方，第一阀块组包括多个第一阀块，多个第一阀块分别用于控制多个第一进气通道的通断；第二阀块组中包括多个第二阀块，多个第二阀块分别用于控制多个第二进气通道的通断；其中，多个第一进气通道用于通入反应气体，多个第二进气通道用于通入吹扫气体。

本实用新型气体传输组件和半导体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种气体传输组件，其特征在于，包括加热基座110、第一进气模块120、第二进气模块130、第一阀块组140、第二阀块组150和出气模块160， 所述第一进气模块120嵌设在所述加热基座110中，所述第一进气模块120的内部具有多个第一进气通道； 所述第二进气模块130设置在所述第一进气模块120的上方，所述第二进气模块130的内部具有多个第二进气通道； 所述出气模块160嵌设在所述加热基座110中，所述出气模块160的内部具有出气通道161； 所述第一阀块组140和所述第二阀块组150设置在所述加热基座110的上方，所述第一阀块组140包括多个第一阀块，所述多个第一阀块分别用于控制所述多个第一进气通道的通断；所述第二阀块组150中包括多个第二阀块，所述多个第二阀块分别用于控制所述多个第二进气通道的通断； 其中，所述多个第一进气通道用于通入反应气体，所述多个第二进气通道用于通入吹扫气体。

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