嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心戴昕童获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心申请的专利一种原子层沉积设备快速冷却装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223738126U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423198101.2，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种原子层沉积设备快速冷却装置是由戴昕童;明帅强;李明;王浙加;张亦哲;李国庆;闻梦瑶设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种原子层沉积设备快速冷却装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于原子层沉积技术领域，涉及一种原子层沉积设备快速冷却装置，包括：加热组件，用于加热样品；检测组件，用于检测所述加热组件的温度；所述检测组件设置于所述加热组件上；冷却流体输送组件，用于向所述加热组件输送冷却流体；所述冷却流体输送组件与所述加热组件连接；控制组件，用于根据所述检测组件的检测值控制所述冷却流体输送组件；所述控制组件分别与所述检测组件和所述冷却流体输送组件连接。本申请提供的一种原子层沉积设备快速冷却装置大大缩短了取样等待的时间，可控制在2小时内就降低到可取样温度。提升了实验的效率。
本实用新型一种原子层沉积设备快速冷却装置在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积设备快速冷却装置，其特征在于，包括： 加热组件，用于加热样品； 检测组件，用于检测所述加热组件的温度；所述检测组件设置于所述加热组件上； 冷却流体输送组件，用于向所述加热组件输送冷却流体；所述冷却流体输送组件与所述加热组件连接； 控制组件，用于根据所述检测组件的检测值控制所述冷却流体输送组件；所述控制组件分别与所述检测组件和所述冷却流体输送组件连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心，其通讯地址为：314001 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号(嘉兴科技城)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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