嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心王浙加获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心申请的专利一种用于原子层沉积设备的源瓶加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223738125U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423189941.2，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种用于原子层沉积设备的源瓶加热装置是由王浙加;沈越;明帅强;沈云华;李明;张亦哲;戴昕童;李国庆;闻梦瑶设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于原子层沉积设备的源瓶加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于前驱体源源瓶加热技术领域，涉及一种用于原子层沉积设备的源瓶加热装置，包括：外壳组件，用于装载源瓶；所述外壳组件内设置有密闭空间，所述密闭空间用于装载所述源瓶；加热组件，用于加热所述源瓶；所述加热组件设置于所述密闭空间内，且至少部分包裹所述源瓶；所述加热组件至少部分伸出所述外壳组件。本申请提供的一种用于原子层沉积设备的源瓶加热装置可以使前驱体受热均匀，具有控温精度高、易拆卸、保温性能好、耐用性佳的优良特性。
本实用新型一种用于原子层沉积设备的源瓶加热装置在权利要求书中公布了：1.一种用于原子层沉积设备的源瓶加热装置，其特征在于，包括： 外壳组件，用于装载源瓶；所述外壳组件内设置有密闭空间，所述密闭空间用于装载所述源瓶； 加热组件，用于加热所述源瓶；所述加热组件设置于所述密闭空间内，且至少部分包裹所述源瓶；所述加热组件至少部分伸出所述外壳组件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心，其通讯地址为：314001 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号(嘉兴科技城)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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