大连皓宇电子科技有限公司李玉慧获国家专利权
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龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种晶圆加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223738115U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423251940.6，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种晶圆加热装置是由李玉慧;张正中;王正国设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆加热装置，包括：安装架、基座及驱动机构；安装架用于安装至反应腔室底部；基座具有晶圆承载面，基座内设有加热结构对晶圆承载面进行加热，基座用于承载和加热晶圆；驱动机构安装在安装架上，用于驱动基座升降。本实用新型通过加热结构对晶圆进行承载和加热，利用驱动机构来实现基座的升降运动，使得基座能够移动至工艺位置以执行加热和沉积作业。相较于现行的载台与加热灯相结合的加热装置，本申请所采用的基座承载和加热晶圆的方式能够省略载台，从而使得结构更为紧凑，有效缩小了装置的体积并简化了装置的结构。
本实用新型一种晶圆加热装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加热装置，其特征在于，包括：安装架1、基座2及驱动机构； 所述安装架1用于安装至反应腔室底部； 所述基座2具有晶圆承载面，所述基座2内设有加热结构对所述晶圆承载面进行加热，所述基座2用于承载和加热晶圆； 所述驱动机构安装在所述安装架1上，用于驱动所述基座2升降，所述驱动机构包括：转动安装在所述安装架1上的丝杠31、与所述丝杠31螺旋传动的丝杠螺母32、传动机构33及安装在所述安装架1上的旋转动力源34；所述旋转动力源34经所述传动机构33传动带动所述丝杠31转动，所述丝杠31带动所述丝杠螺母32升降，所述丝杠螺母32带动所述基座2升降。
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