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龙图腾网获悉晶能光电股份有限公司申请的专利一种用于单片式晶圆清洗机的全自动上下料装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223737129U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423209517.X，技术领域涉及：B65G47/91；该实用新型一种用于单片式晶圆清洗机的全自动上下料装置是由赵宗志;闵辉;樊建平;陶骏设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于单片式晶圆清洗机的全自动上下料装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供的用于单片式晶圆清洗机的全自动上下料装置，整体采用L型布置，能利用场地条件在紧凑的空间灵活布局，通过中转工作台上的取片结构和送片结构实现自动上下料，只需人工取放料盒即可，取片清洗和清洗后的回收均能自动运行，进一步节省了人力，提高了效率。此外，该装置还具备异常情况自动检测与处理功能，一旦第一机械臂在取片过程中发生碰撞等情况，系统会立即发出警报信号，并暂停当前动作以防止结构被损坏。不仅确保了整个上下料流程运行的稳定性和可靠性，同时也增强了设备对外界干扰因素的抵抗能力。

本实用新型一种用于单片式晶圆清洗机的全自动上下料装置在权利要求书中公布了：1.一种用于单片式晶圆清洗机的全自动上下料装置，其特征在于，包括： 上料工作台，工作台中央配置有可容纳料盒的开口，开口下方设有可升降的载台，所述载台与第一驱动件连接，在第一驱动件的驱动下抬升和下降，载台表面用于放置料盒； 所述料盒包括底板和左侧板、右侧板以及上盖板，用于收集绷环，左右侧板内壁从下至上分布有等距的横条结构，于侧板上相邻两个横条结构之间还配置有检测孔； 于工作台表面、载台一侧配置有晶圆检测感应器，所述晶圆检测感应器用于通过检测孔扫描料盒中绷环所在位置； 中转工作台表面的取片结构，包括前后平移组件、安装于前后平移组件的第一机械臂，所述第一机械臂固定端与前后平移组件固定，另一端悬空，所述前后平移组件与第二驱动件连接，在第二驱动件的驱动下前进和后退； 中转工作台表面的送片结构，包括H型固定架，安装于所述H型固定架的左右平移组件，安装于所述左右平移组件的升降组件、安装于所述升降组件的第二机械臂，所述左右平移组件与第三驱动件连接，左右平移组件在第三驱动件的驱动下左右移动，所述升降组件与第四驱动件连接，升降组件在第四驱动件的驱动下抬升和下降； 所述上料工作台与所述清洗机为对角位置，所述上料工作台、中转工作台、清洗机三者呈L型布置。

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