泰微科技(珠海)有限公司尹陈林获国家专利权
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龙图腾网获悉泰微科技(珠海)有限公司申请的专利全自动晶圆测量设备的上下料模组获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223737032U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520164253.6，技术领域涉及：B65G47/24；该实用新型全自动晶圆测量设备的上下料模组是由尹陈林;李浩辉设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本全自动晶圆测量设备的上下料模组在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种全自动晶圆测量设备的上下料模组，包括：底板，沿X轴和Y轴方向延伸；外盖，安装在底座上，与底板形成一个封闭的上下料室，用于容纳晶圆架，外盖上设有用于取放晶圆架的取放口；门，用于开闭所述取放口；定位机构，设置在所述底板上，所述定位机构包括至少两个前端定位块和至少一个后端定位块，至少两个前端定位块与至少一个后端定位块沿Y轴方向间隔布置，且每个所述前端定位块具有沿X轴方向间隔布置的左定位台阶和右定位台阶。该全自动晶圆测量设备的上下料模组的定位机构能够适配不同规格的晶圆，适配范围大。
本实用新型全自动晶圆测量设备的上下料模组在权利要求书中公布了：1.一种全自动晶圆测量设备的上下料模组，具有X轴方向、与X轴垂直的Y方向以及与X轴、Y轴均垂直的Z轴方向，其特征在于，包括： 底板，沿X轴和Y轴方向延伸； 外盖，安装在底座上，与底板形成一个封闭的上下料室，用于容纳晶圆架，外盖上设有用于取放晶圆架的取放口； 门，用于开闭所述取放口； 定位机构，设置在所述底板上，所述定位机构包括至少两个前端定位块和至少一个后端定位块，至少两个前端定位块与至少一个后端定位块沿Y轴方向间隔布置，每个所述前端定位块具有沿X轴方向间隔布置的左定位台阶和右定位台阶，且沿从前至后方向，前面一个前端定位块的左定位台阶和右定位台阶之间的间距大于后面一个前端定位块的左定位台阶和右定位台阶之间的间距。
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