江苏英联复合集流体有限公司杨银涛获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏英联复合集流体有限公司申请的专利一种溅射机靶材更换辅助机械臂装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223734913U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423305218.6,技术领域涉及:B25J18/00;该实用新型一种溅射机靶材更换辅助机械臂装置是由杨银涛;林金益;翁伟嘉设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射机靶材更换辅助机械臂装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种溅射机靶材更换辅助机械臂装置,包括:基座单元,所述基座单元包括竖向设置的安装底板;升降单元,所述升降单元包括升降底板,所述升降单元通过所述升降底板上下往复运动式设置在所述安装底板上;机械臂,所述机械臂的一端与所述升降底板转动连接,所述机械臂的另一端可夹住所述靶材并带靶材沿水平方向任意移动。本实用新型设计的溅射机靶材更换辅助机械臂装置,通过升降单元实现靶材竖直方向的运动,通过机械臂实现托举靶材的同时可水平方向任意位置摆放固定靶材;在操作人员的配合使用下,解决了因设备内部形状不规则,人员身处其中很难平衡重心,导致靶材拆卸、安装困难,容易出现工伤事故的问题。
本实用新型一种溅射机靶材更换辅助机械臂装置在权利要求书中公布了:1.一种溅射机靶材更换辅助机械臂装置,其特征在于,包括: 基座单元1,所述基座单元1包括竖向设置的安装底板101; 升降单元2,所述升降单元2包括升降底板201,所述升降单元2通过所述升降底板201上下往复运动式设置在所述安装底板101上; 机械臂3,所述机械臂3的一端与所述升降底板201转动连接,所述机械臂3的另一端可夹住所述靶材并带靶材沿水平方向任意移动。
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