芯恩(青岛)集成电路有限公司王凯强获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利抛光头、化学机械抛光装置及抛光液分布调节系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223734660U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520087843.3，技术领域涉及：B24B57/02；该实用新型抛光头、化学机械抛光装置及抛光液分布调节系统是由王凯强;张其栋;张楠楠;郑雯设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本抛光头、化学机械抛光装置及抛光液分布调节系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种抛光头，涉及半导体制造技术领域，包括转轴、载具和导电薄膜带；所述转轴连接所述载具，用于带动所述载具旋转；所述载具用于固定晶圆；所述导电薄膜带有多条，多条导电薄膜带在所述载具底面与所述载具同心设置，并且每条所述导电薄膜带的直径不同，相邻的所述导电薄膜带之间隔设置；所述导电薄膜带用于通电并控制所述晶圆表面研磨颗粒的浓度。使晶圆表面的抛光速率趋近相同或根据需要进行抛光，从而提高晶圆表面抛光的均匀性，提高了晶圆表面的质量，方便了后续工艺的处理。
本实用新型抛光头、化学机械抛光装置及抛光液分布调节系统在权利要求书中公布了：1.一种抛光头，其特征在于，包括转轴、载具和导电薄膜带； 所述转轴连接所述载具，用于带动所述载具旋转； 所述载具用于固定晶圆； 所述导电薄膜带有多条，多条导电薄膜带在所述载具底面与所述载具同心设置，并且每条所述导电薄膜带的直径不同，相邻的所述导电薄膜带之间隔设置；所述导电薄膜带用于通电并控制所述晶圆表面研磨颗粒的浓度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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