双良硅材料(包头)有限公司刘伟伟获国家专利权
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龙图腾网获悉双良硅材料(包头)有限公司申请的专利用于开磨一体机的测量探针及开磨一体机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223734652U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323233954.0,技术领域涉及:B24B49/04;该实用新型用于开磨一体机的测量探针及开磨一体机是由刘伟伟;王小亮;杨俊乐设计研发完成,并于2023-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于开磨一体机的测量探针及开磨一体机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于开磨一体机的测量探针及开磨一体机。该用于开磨一体机的测量探针包括依次相连的测量头、一段测量杆和二段测量杆;所述测量头呈圆柱形;所述测量头的中心轴线、一段测量杆的中心轴线和二段测量杆的中心轴线重合;所述测量头的长度小于所述一段测量杆的长度;所述测量头的横截面面积大于所述一段测量杆的横截面面积。该测量探针有利于减小测量弧误差。
本实用新型用于开磨一体机的测量探针及开磨一体机在权利要求书中公布了:1.一种开磨一体机,其特征在于,开磨一体机为可旋转的四工位加工模式的开磨一体机,集上下料工位、两个开方工位及磨倒工位于一体;在磨倒工位加工过程中涉及到晶棒测量探针对半成品晶棒进行尺寸测量; 所述开磨一体机包括晶棒测量探针和基准面连接杆; 所述晶棒测量探针包括依次相连的测量头、一段测量杆和二段测量杆;所述二段测量杆远离所述一段测量杆的一端与基准面连接杆相连; 所述测量头呈圆柱形;所述测量头的表面无螺纹; 所述测量头的中心轴线、一段测量杆的中心轴线和二段测量杆的中心轴线重合; 所述测量头的长度小于所述一段测量杆的长度; 所述测量头的横截面面积大于所述一段测量杆的横截面面积; 所述一段测量杆为圆柱形; 所述一段测量杆的表面无螺纹;一段测量杆设置为起缓冲作用,减小测量头与二段测量杆的撞击,防止造成二段测量杆松动,且一段测量杆的长度控制在设定范围以减小使用过程造成的探针杆的弯曲和变形,同时一段测量杆设置为起到隔绝作用,用于分离测量头及基准面,防止直接接触,损坏测量头; 所述二段测量杆为圆柱形;所述二段测量杆的表面设置有螺纹;所述螺纹为攻螺纹; 所述二段测量杆的长度大于所述一段测量杆的长度; 所述二段测量杆的直径小于所述一段测量杆的直径; 所述晶棒测量探针为一体成型结构。
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