亚芯半导体材料(江苏)有限公司毛思宁获国家专利权
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龙图腾网获悉亚芯半导体材料(江苏)有限公司申请的专利一种溅射靶材打磨夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223734646U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520167567.1,技术领域涉及:B24B41/06;该实用新型一种溅射靶材打磨夹具是由毛思宁;程远达;程其兵;陈箫箫设计研发完成,并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射靶材打磨夹具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种溅射靶材打磨夹具,包括工作台,还包括设置于工作台用于对溅射靶材在磨削过程中进行固定的固定组件,所述固定组件包括固定连接于工作台的底板,所述底板通过多个连接柱连接有固定筒,各个所述固定筒设有用于对溅射靶材进行定位的定位组件,各个所述固定筒侧壁设有多个弧形夹板,各个所述固定筒设有用于对各个弧形夹板进行驱动的驱动组件。本实用新型通过固定组件的设置,在实现了对磁性较差材质的溅射靶材夹紧固定的同时,形成了对溅射靶材的多点夹紧,使得夹紧力均匀地分布在溅射靶材的圆周表面,从而减小了因应力集中而造成溅射靶材夹紧变形的风险。
本实用新型一种溅射靶材打磨夹具在权利要求书中公布了:1.一种溅射靶材打磨夹具,其特征在于:包括工作台1, 还包括:设置于工作台1用于对溅射靶材在磨削过程中进行固定的固定组件; 所述固定组件包括固定连接于工作台1的底板201,所述底板201通过多个连接柱202连接有固定筒203,各个所述固定筒203设有用于对溅射靶材进行定位的定位组件; 其中,各个所述固定筒203侧壁设有的多个弧形夹板204,且固定筒203内设有用于对各个弧形夹板204进行驱动的驱动组件; 其次,所述底板201设有用于对各组弧形夹板204进行同步驱动的联动组件。
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