山东有研艾斯半导体材料有限公司张荣彬获国家专利权
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龙图腾网获悉山东有研艾斯半导体材料有限公司申请的专利一种12英寸硅片精抛机抛光头辅助安装工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223734628U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520127442.6,技术领域涉及:B24B41/00;该实用新型一种12英寸硅片精抛机抛光头辅助安装工装是由张荣彬;于兴瑞;蒙德强;程怀璋;陈信;邵秋生设计研发完成,并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种12英寸硅片精抛机抛光头辅助安装工装在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种12英寸硅片精抛机抛光头辅助安装工装。该抛光头辅助安装工装主体由上方的半环握柄和下方的多根孔插柱组装而成;所述半环握柄呈弧形,圆弧的圆心与抛光头外圈的螺纹孔所在的圆为同心圆;所述半环握柄设有螺纹安装孔,所述孔插柱一端设有与所述螺纹安装孔匹配的外螺纹。本实用新型的12英寸硅片精抛机抛光头辅助安装工装具有结构简单、操作方便的特点,能够有效避免抛光头安装时对抛光头水平调整机构造成的机械碰撞损伤,缩短抛光头的安装时间,提高维修效率。
本实用新型一种12英寸硅片精抛机抛光头辅助安装工装在权利要求书中公布了:1.一种12英寸硅片精抛机抛光头辅助安装工装,其特征在于,该抛光头辅助安装工装主体由上方的半环握柄和下方的多根孔插柱组装而成; 所述半环握柄呈弧形,圆弧的圆心与抛光头外圈的螺纹孔所在的圆为同心圆; 所述半环握柄设有螺纹安装孔,所述孔插柱一端设有与所述螺纹安装孔匹配的外螺纹。
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