梭莱镀膜工业(江阴)有限公司韩刚库获国家专利权
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龙图腾网获悉梭莱镀膜工业(江阴)有限公司申请的专利一种高效氧化物靶材清舱装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223733459U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423185282.5,技术领域涉及:B08B9/087;该实用新型一种高效氧化物靶材清舱装置是由韩刚库;戈金鹏;谭露晓设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高效氧化物靶材清舱装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种高效氧化物靶材清舱装置,包括吸尘管道,所述吸尘管道上固定安装有支架;所述吸尘管道的一端固定安装有旋转座,且所述旋转座上开设有吸尘槽,并且所述吸尘槽与所述吸尘管道相连通;所述旋转座上固定安装有盖板,且所述盖板盖在所述吸尘槽上;所述支架上转动设置有旋转刷头,且所述旋转刷头上固定设置有齿圈;所述吸尘管道上固定设置有驱动电机。本实用新型一种高效氧化物靶材清舱装置,通过在旋转座上转动设置旋转刷头,利用旋转刷头清理喷涂舱内壁团聚的块或粉末,并通过吸尘装置将残留杂物、灰尘等抽离喷涂舱并进行收集,既简便又高效,显著减轻了操作人员的劳动强度,从而提升了氧化物靶材连续生产的质量与效率。
本实用新型一种高效氧化物靶材清舱装置在权利要求书中公布了:1.一种高效氧化物靶材清舱装置,其特征在于:包括吸尘管道1,所述吸尘管道1上固定安装有支架2;所述吸尘管道1的一端固定安装有旋转座3,且所述旋转座3上开设有吸尘槽4,并且所述吸尘槽4与所述吸尘管道1相连通;所述旋转座3上固定安装有盖板5,且所述盖板5盖在所述吸尘槽4上;所述支架2上转动设置有旋转刷头6,且所述旋转刷头6上固定设置有齿圈7;所述吸尘管道1上固定设置有驱动电机8,且所述驱动电机8的输出端固定安装有驱动齿轮9,并且所述驱动齿轮9与所述齿圈7啮合;所述吸尘管道1的另一端设置有风管10,所述吸尘管道1通过所述风管10与吸尘装置11连接。
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