买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉青岛理工大学申请的专利一种硫化亚锡多模柔性传感器及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121026194B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511553539.4，技术领域涉及：G01D5/16；该发明授权一种硫化亚锡多模柔性传感器及制备方法是由米龙飞;王友福;葛学潇;王宇;崔洪涛;姚文飞;王叁;陈菲设计研发完成，并于2025-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硫化亚锡多模柔性传感器及制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体器件技术领域，具体涉及一种硫化亚锡多模柔性传感器及制备方法，制备方法包括以下步骤：1衬底层先用去离子水清洗10min，再用酒精清洗10min；2在烘干箱中将清洗的材料烘干；3采用物理气相沉积法在衬底表面沉积硫化亚锡薄膜；4采用激光焊接工艺对硫化亚锡薄膜表面进行处理；5使用聚酰亚胺胶带将掩模版粘在硫化亚锡薄膜表面；6在硫化亚锡薄膜表面沉积叉指结构的叉指电极，形成衬底层‑硫化亚锡薄膜‑叉指电极的三明治结构，本申请实现多信号同步精准监测、突破现有多模传感器性能瓶颈、工艺简便可控、绿色环保且成本低廉、适配多领域复杂监测需求。

本发明授权一种硫化亚锡多模柔性传感器及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种硫化亚锡多模柔性传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1衬底层先用去离子水清洗10min，再用酒精清洗10min，所述衬底层为聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷、聚对苯二甲酸乙二醇酯中的任意一种，所述衬底层的厚度为25μm-200μm； 2在烘干箱中将清洗的材料烘干； 3采用物理气相沉积法在衬底表面沉积硫化亚锡薄膜，所述物理气相沉积法采用磁控溅射法，物理气相沉积速度低于200nmmin，作用于靶材上的磁控溅射的沉积温度为0℃-200℃，沉积功率为30W-200W，溅射压强为0.1Pa-2Pa，沉积完成时间在2h以内，所述靶材为硫化亚锡靶材； 4采用激光表面处理工艺对硫化亚锡薄膜表面进行处理，激光焊接工艺为：扫描速度5000-10000mms，激光功率为1-30W，频率为30-200kHz，扫描次数为1-5次； 5使用聚酰亚胺胶带将掩模版粘在硫化亚锡薄膜表面； 6在硫化亚锡薄膜表面沉积叉指结构的叉指电极，形成衬底层-硫化亚锡薄膜-叉指电极的三明治结构，依托硫化亚锡薄膜的独特特性，在单一功能层内即可同时响应压力、温度、湿度三种信号。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人青岛理工大学，其通讯地址为：266400 山东省青岛市黄岛区嘉陵江东路777号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。