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龙图腾网获悉航菱微(泰州)科技有限公司申请的专利一种基于超声波清洗的晶圆清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121017169B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511546066.5，技术领域涉及：B08B3/12；该发明授权一种基于超声波清洗的晶圆清洗装置是由何平;沈建宇;魏岩岩设计研发完成，并于2025-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于超声波清洗的晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于超声波清洗的晶圆清洗装置，涉及晶圆清洗装置技术领域。包括清洗机外槽体、晶圆清洗玻璃槽、超声清洗槽、超声波装置、底板、罩壳、清洗槽轨道、分流供水装置和除泡匀振装置，本发明通过超纯水作为介质，将超声波振动有效传导至晶圆清洗玻璃槽，带动槽内强酸溶液均匀振动，实现对晶圆的高效清洗。斜向补水在与原液交界处形成高湍流脉动和局部剪切应力，将大气泡剪切成微小气泡，防止气泡聚集，提高液体纯度和超声波清洗效率。旋流连接座和环形旋流片的离心分离作用，使水流中的气泡集中于中心位置，外侧超纯水快速排出，气泡与疏水性多孔膜接触后被高效吸收，显著提高除泡效果。

本发明授权一种基于超声波清洗的晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种基于超声波清洗的晶圆清洗装置，其特征在于：所述晶圆清洗装置包括清洗机外槽体1和超声清洗槽3，所述超声清洗槽3底部安装有清洗槽支脚31，所述清洗槽支脚31安装在清洗机外槽体1内，所述超声清洗槽3上安装有底板5，所述超声清洗槽3上安装有超声波装置4，所述底板5上安装有罩壳6，所述罩壳6与超声清洗槽3连接，所述底板5上对称安装有清洗槽轨道7，所述清洗槽轨道7上安装有晶圆清洗玻璃槽2，所述超声清洗槽3内还安装有分流供水装置8，所述分流供水装置8上安装有除泡匀振装置9； 所述分流供水装置8包括供水壳体81，所述供水壳体81安装在超声清洗槽3内，所述供水壳体81上设有进水口83，所述供水壳体81内设有分流腔84，所述供水壳体81顶端设有若干斜向出水口82，所述斜向出水口82与分流腔84连通，所述供水壳体81上安装有除泡匀振装置9，所述除泡匀振装置9与斜向出水口82连通； 所述除泡匀振装置9包括若干旋流连接座95和传动齿带92，所述旋流连接座95安装在供水壳体81上，所述旋流连接座95与斜向出水口82连通，所述旋流连接座95上转动安装有除泡匀振转头91，所述旋流连接座95上安装有连接壳96，所述连接壳96上安装有驱动电机93，所述驱动电机93输出轴上安装有驱动齿轮94，所述传动齿带92与若干除泡匀振转头91啮合传动，所述传动齿带92与驱动齿轮94啮合传动。

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