中国计量大学何亚雄获国家专利权
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龙图腾网获悉中国计量大学申请的专利一种弯钩型探针及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120971769B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511500325.0，技术领域涉及：G01Q60/38；该发明授权一种弯钩型探针及其制备方法和应用是由何亚雄;陈烨锋;罗哉;卞点;程银宝;江文松;李亚茹;崔长彩设计研发完成，并于2025-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种弯钩型探针及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明属于精密加工技术领域，具体涉及一种弯钩型探针及其制备方法和应用。包括以下步骤：采用热拔丝法将直径为60µm~100µm的钨丝拉伸成圆锥体形状，得到锥形探针杆；通过电弧放电对锥形探针杆较小的一端熔融成球形，在电弧放电过程中施加水平方向的外部磁场，通过磁场产生的安培力以控制球形的偏心量，获得勺子形探针；在10V直流电压下，将勺子形探针的球形末端浸入蚀刻溶液中，以0.1s~0.5s时间间隔、1μms~10μms的匀速下，周期性地提取‑浸入碱液中，得到曲率半径为30nm~50nm的针尖部分。采用本发明中的方法制备一个探针的时间不超过8min，TSV空洞检出率＞99%，孔径偏差≥5%。
本发明授权一种弯钩型探针及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种用于硅通孔检测的弯钩型探针的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 采用热拔丝法将直径为60µm~100µm的钨丝拉伸成圆锥体形状，得到锥形探针杆； 通过电弧放电对锥形探针杆较小的一端熔融成球形，在电弧放电过程中施加水平方向的外部磁场，通过磁场产生的安培力以控制球形的偏心量，获得勺子形探针；其中，安培力计算公式如下： F=I×∫dl×B； 其中，I为电流，单位为A，dl为熔融态钨丝在磁场中的有效长度，单位为m，B为磁场强度，单位为T；其中，电流为5A~20A，熔融态钨丝在磁场中的有效长度为10µm~100µm，磁场强度为10mT~100mT； 在直流电压下，将勺子形探针的球形末端以0.1s~0.5s时间间隔、1µms~10µms的匀速下，周期性地提取-浸入碱液中，用以对球形末端进行蚀刻，得到曲率半径为30nm~50nm的针尖部分，获得弯钩型探针。
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