微玖(苏州)光电科技有限公司孙凯获国家专利权
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龙图腾网获悉微玖(苏州)光电科技有限公司申请的专利一种低串扰的Micro LED矩阵大灯的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120957538B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511454468.2,技术领域涉及:H10H29/01;该发明授权一种低串扰的Micro LED矩阵大灯的制备方法是由孙凯;朱平;顾银冬;张宇;黄振;王程功设计研发完成,并于2025-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低串扰的Micro LED矩阵大灯的制备方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种低串扰的MicroLED矩阵大灯的制备方法,包括S1,蓝光MicroLED芯片预处理;S2,光刻工艺处理;S3,涂覆硅胶荧光粉混合物;S4,真空静置与高温固化;S5,高精度研磨减薄;S6,光刻胶去除;可选S7,增设挡光结构制备步骤;通过光刻定义荧光粉区域、真空沉降控厚、分步研磨及挡光结构优化,解决现有工艺串扰高、荧光粉层均匀性差、良率低的问题,实现像素间串扰率≤5%、荧光粉层厚度偏差≤2.5μm、芯片制备良率≥90%;还可通过钝化层、电极及硅胶耐候性优化,适配船舶耐盐雾等特殊场景,使用寿命≥5年;工艺与现有产线兼容,适用于汽车、船舶等多场景MicroLED矩阵大灯制备。
本发明授权一种低串扰的Micro LED矩阵大灯的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种低串扰的MicroLED矩阵大灯的制备方法,其特征在于,包括如下步骤: S1,蓝光MicroLED芯片预处理:采用成熟工艺制备蓝光MicroLED芯片,具体包括将衬底与CMOS驱动芯片进行共晶键合,对键合后的复合结构进行减薄处理,通过刻蚀工艺形成独立的LED像素点,再经镀膜处理完成电极及钝化层制备;所述LED像素点通过CMOS驱动芯片实现单独点亮及分区显示控制; S2,光刻工艺处理:对步骤S1制备的蓝光MicroLED芯片进行光刻显影,使芯片的发光区裸露,非发光区被光刻胶覆盖;所述光刻胶的厚度由后续所需荧光粉层的目标厚度适配确定,且满足光刻显影分辨率≥1μm; S3,涂覆硅胶荧光粉混合物:将硅胶与荧光粉混合并经真空脱泡,得到均匀的硅胶荧光粉混合物;采用旋涂、喷涂或刮涂方式,将该混合物覆盖于步骤S2完成光刻的蓝光MicroLED芯片表面; S4,真空静置与高温固化:将步骤S3涂覆后的芯片置于-0.07MPa至-0.13MPa的真空环境中静置8h至14h,直至荧光粉因密度差沉降形成的堆积层厚度大于步骤S2中光刻胶的厚度;静置完成后,对芯片进行高温固化处理,使硅胶完全定型,且固化后硅胶的交联度≥90%; S5,高精度研磨减薄:采用砂轮对步骤S4固化后的芯片进行研磨减薄,控制研磨过程中的总厚度偏差≤2.5μm、表面粗糙度≤0.25μm;研磨终点为露出步骤S2中的光刻胶,或在光刻胶厚度满足需求时,部分去除光刻胶以达到荧光粉层的设定厚度; S6,光刻胶去除:采用对硅胶及荧光粉无腐蚀、无剥离作用的去胶液,去除芯片电极区域及非发光区域残留的光刻胶,得到白光MicroLED芯片雏形。
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