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龙图腾网获悉广东鸿浩半导体设备有限公司申请的专利一种调整撕膜角度的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120955011B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511460358.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种调整撕膜角度的控制方法是由黄文甫;李宇轩;杨海洲;林有志;唐宁设计研发完成，并于2025-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种调整撕膜角度的控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种调整撕膜角度的控制方法，属于撕膜技术领域，包括：基于预设的膜材特性数据库，获取初始撕膜角度数据与张力设定值数据；基于晶圆尺寸与解键合工艺参数获取期望角度序列；基于力传感器获取实时撕膜张力数据，基于角度传感器获取实时撕膜角度数据；基于实时撕膜张力数据与实时撕膜角度数据获取撕膜异常标志位；基于实时角度数据与期望角度序列，获取角度偏差量；根据角度偏差量获取角度补偿量，基于撕膜异常标志位获取张力补偿量；基于角度补偿量与张力补偿量获取总角度调整指令并执行，并对步骤S2至步骤S5进行循环，对撕膜角度与张力进行实时调控，减少撕膜角度不匹配的问题。

本发明授权一种调整撕膜角度的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种调整撕膜角度的控制方法,其特征在于：包括有以下步骤： S1：基于预设的膜材特性数据库进行撕膜工艺参数匹配操作，获取初始撕膜角度数据与张力设定值数据；基于晶圆尺寸与解键合工艺参数进行撕膜轨迹规划操作，获取撕膜路径与期望角度序列； S2:基于力传感器获取实时撕膜张力数据，基于编码器与角度传感器获取实时撕膜角度数据； S3:基于实时撕膜张力数据与实时撕膜角度数据进行剥离状态评估操作，获取撕膜异常标志位；基于实时角度数据与期望角度序列，获取角度偏差量； S4:基于角度偏差量进行角度补偿量计算操作，获取角度补偿量；基于撕膜异常标志位进行补偿操作，获取张力补偿量；基于角度补偿量与张力补偿量获取总角度调整指令； S5:基于总角度调整指令进行伺服系统调控操作，获取撕膜角度调整动作并对步骤S2至步骤S5进行循环； 所述基于实时撕膜张力数据与实时撕膜角度数据进行剥离状态评估操作，获取撕膜异常标志位；基于实时角度数据与期望角度序列获取角度偏差量，包括： 将实时撕膜张力数据与设定的张力安全阈值进行比较，获取撕膜异常标志位； 其中，当实时撕膜张力数据超过上限防止断裂阈值时，撕膜异常标志位表示为"过张力"异常； 当实时撕膜张力数据低于下限防止残留阈值时，撕膜异常标志位表示为"低张力"异常； 基于实时撕膜角度数据从期望角度序列中提取同一时刻的路径点，基于实时角度数据与路径点的期望撕膜角度数据进行比较，当角度偏差超过±5°时，获取表示为"角度偏差"的撕膜异常标志位； 计算实时角度数据与路径点的期望撕膜角度数据的偏差量，得到角度偏差量； 所述基于角度偏差量进行角度补偿量计算操作，获取角度补偿量；基于撕膜异常标志位进行补偿操作，获取张力补偿量；基于角度补偿量与张力补偿量获取总角度调整指令，包括： 基于角度偏差量，采用PID控制算法计算角度补偿量，包括比例项、积分项和微分项； 基于撕膜异常标志位进行张力补偿，获取张力补偿量； 其中，当撕膜异常标志位表示为"过张力"异常时，减小初始撕膜角度数据； 当撕膜异常标志位表示为"低张力"异常时，增加初始撕膜角度数据； 当撕膜异常标志位表示为"角度偏差"异常时，直接修正初始撕膜角度数据； 根据膜材类型调整角度补偿量与张力补偿量的权重系数，进行加权融合计算获取总角度调整指令并输出至伺服驱动器。

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