深圳市青虹激光科技有限公司高昆获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市青虹激光科技有限公司申请的专利一种振镜动态飞行拼接加工系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120885884B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511422163.3,技术领域涉及:B23K26/362;该发明授权一种振镜动态飞行拼接加工系统及方法是由高昆;李岳强;刘祥;李成设计研发完成,并于2025-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种振镜动态飞行拼接加工系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种振镜动态飞行拼接加工系统及方法,属于薄膜太阳能电池制造技术领域。系统包括运动平台模块、振镜扫描模块及运动同步控制模块。运动平台带动衬底沿Y轴以恒定速度连续移动;路径规划单元将衬底划分为50×50mm²矩形视场单元并生成蛇形扫描路径;运动同步控制模块通过编码器实时采集位移数据,PLC控制器在拼接边界±50μm过渡区控制激光能量从100%线性衰减至95%,实现提前触发与无缝拼接。本发明通过运动平台模块的连续移动、振镜扫描模块的精准激光蚀刻、运动同步控制模块的实时协同,有效解决了传统加工效率低、拼接精度不足、动态同步性差的问题,为薄膜太阳能电池的大规模高精度制造提供了可行方案。
本发明授权一种振镜动态飞行拼接加工系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种振镜动态飞行拼接加工系统,其特征在于,包括: 运动平台模块,所述运动平台模块承载薄膜太阳能电池衬底,所述运动平台模块控制薄膜太阳能电池衬底沿Y轴方向以第一速度范围内的恒定速度连续移动; 振镜扫描模块,所述振镜扫描模块在薄膜太阳能电池衬底连续移动中向薄膜太阳能电池衬底表面发射激光束并形成蚀刻线; 运动同步控制模块,包括平台编码器,PLC控制器及路径规划单元; 所述路径规划单元将薄膜太阳能电池衬底划分为多个矩形视场单元,为每个矩形视场单元生成振镜扫描模块行走的连续蛇形扫描路径,为相邻矩形视场单元设置拼接边界过渡区; 平台编码器,实时采集运动平台的位移数据并反馈至PLC控制器; PLC控制器,根据位移数据,在相邻矩形视场单元的拼接边界过渡区内,控制振镜扫描模块发射的激光束能量梯度,所述相邻矩形视场单元包括目标视场单元及前视场单元,所述PLC控制器在前视场单元的前视场范围内提前触发振镜扫描模块; 路径规划单元在薄膜太阳能电池衬底上划分的矩形视场单元为:将薄膜太阳能电池衬底上选取有效区域,将有效区域划分为多个50×50mm2的矩形视场单元; 所述相邻矩形视场单元的拼接边界过渡区为:前视场单元与目标视场单元的拼接边界线沿Y轴方向的±50μm; 所述前视场单元的前视场范围为前视场单元在拼接边界线沿Y轴方向的-50μm; 激光束在前视场单元的-50μm处提前触发开启,激光束从拼接边界线的-50μm移动至拼接边界线时,激光束能量从100%衰减至95%,衰减系数为0.1%μm; 激光束从拼接边界线移动至+50μm时,激光束能量从95%升高至100%,升高系数为0.1%μm; 能量调整由PLC控制器根据平台编码器实时采集的位移数据触发,响应延迟≤10μs。
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