中国科学院长春光学精密机械与物理研究所周益平获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种面向EUV光源的腔倒空CO2激光器及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120879320B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511395100.3，技术领域涉及：H01S3/23；该发明授权一种面向EUV光源的腔倒空CO2激光器及其控制方法是由周益平;曾文彬;张冉冉;赵崇霄;潘其坤;陈飞;郭劲设计研发完成，并于2025-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种面向EUV光源的腔倒空CO2激光器及其控制方法在说明书摘要公布了：本申请涉及激光技术领域，提供一种面向EUV光源的腔倒空CO2激光器及其控制方法，激光器包括：由第一凹面镜、第二凹面镜形成的谐振腔；CO2射频波导管，设置于谐振腔内；四分之一波片，设置于CO2射频波导管的一侧，用于改变通过光的偏振态；普克尔盒，设置于CO2射频波导管的与四分之一波片相反的一侧，配置为在未加电时不改变通过光的偏振态，加电时改变通过光的偏振态；薄膜偏振片，设置于普克尔盒远离CO2射频波导管的一侧；普克尔盒未加电时，谐振腔处于高损耗状态，以促进CO2射频波导管反转粒子数累积；普克尔盒加电时，使CO2射频波导管内往返传播的光束为正交圆偏振光。本申请能够输出高重频窄脉宽激光。
本发明授权一种面向EUV光源的腔倒空CO2激光器及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种面向EUV光源的腔倒空CO2激光器，其特征在于，包括： 由第一凹面镜1、第二凹面镜6形成的谐振腔； CO2射频波导管3，设置于所述谐振腔内； 四分之一波片2，设置于所述CO2射频波导管3的一侧，用于改变通过光的偏振态； 普克尔盒4，设置于所述CO2射频波导管3的与所述四分之一波片2相反的一侧，配置为在未加电时不改变通过光的偏振态，加电时改变通过光的偏振态； 薄膜偏振片5，设置于所述普克尔盒4远离所述CO2射频波导管3的一侧； 其中，所述普克尔盒4未加电时，所述四分之一波片2、普克尔盒4以及薄膜偏振片5配合使所述谐振腔处于高损耗状态，以促进CO2射频波导管3反转粒子数累积；所述普克尔盒4加电时，所述四分之一波片2、普克尔盒4以及薄膜偏振片5配合使所述CO2射频波导管3内往返传播的光束为正交圆偏振光。
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