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龙图腾网获悉鑫巨(深圳)半导体科技有限公司申请的专利一种基于多阳极柱独立调节的电镀模块及电镀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120818882B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511331545.5，技术领域涉及：C25D17/00；该发明授权一种基于多阳极柱独立调节的电镀模块及电镀方法是由马库斯·郎;马丁·施莱设计研发完成，并于2025-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于多阳极柱独立调节的电镀模块及电镀方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于多阳极柱独立调节的电镀模块及电镀方法，该电镀模块包括喷淋组件、电镀组件；喷淋组件内部设置有喷电镀液的喷射通道以及吸电镀液的吸入通道；通过同时喷射电镀液和吸入电镀液，改善电镀液中离子的浓度，改善生产板或晶圆镀层的均匀性，通过控制电镀液喷射和电镀液吸入的流量，可以对生产板或晶圆的局部区域进行电镀，使生产板或晶圆的镀层均匀；电镀组件包括多个阳极柱；阳极柱以可移动且独立调节的方式穿设在喷淋组件内，可以独立调节每个阳极柱与生产板或晶圆的距离，改善电场强度，改善边缘效应导致的镀层不均匀的问题；可以针对不同的微观结构调整阳极柱，实现对局域流场的精准控制，适应多种设计的生产板或晶圆。

本发明授权一种基于多阳极柱独立调节的电镀模块及电镀方法在权利要求书中公布了：1.一种基于多阳极柱独立调节的电镀模块，其特征在于，包括喷淋组件、电镀组件； 所述喷淋组件内部设置有喷电镀液的喷射通道13以及吸电镀液的吸入通道14；所述电镀组件包括多个阳极柱21；每个阳极柱21均以可移动且独立调节的方式穿设在所述喷淋组件内，以调节阳极柱21与生产板或晶圆的距离； 所述喷射通道13有多组，每组包括多个均匀间隔排布的喷射通道13，同一组的喷射通道13相互连通；所述吸入通道14有多组，每组包括多个均匀间隔排布的吸入通道14，同一组的吸入通道14相互连通；所述喷射通道13、所述吸入通道14以及阳极柱21沿预设方向交替排布； 所述喷淋组件包括喷淋主体11以及盖板12；所述盖板12设置在所述喷淋主体11的喷射电镀液的一端； 所述电镀组件还包括导电组件；所述导电组件包括导电部22以及导电柱24；所述导电部22设置在所述喷淋主体11和所述盖板12之间，所述阳极柱21穿经所述导电部22且与所述导电部22电连接；所述导电柱24穿设在所述喷淋主体11内且一端与所述导电部22电连接。

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