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龙图腾网获悉上海铠铂云信息科技有限公司申请的专利一种用于半导体制造的高架穿梭车自我故障检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120628625B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510727757.9，技术领域涉及：G01M17/007；该发明授权一种用于半导体制造的高架穿梭车自我故障检测系统是由王善谦设计研发完成，并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体制造的高架穿梭车自我故障检测系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于半导体制造的高架穿梭车自我故障检测系统，具体涉及高架穿梭车自我故障检测领域，包括数据采集模块、机械振动异常检测模块、定位偏差检测模块、运动平稳性检测模块以及晶圆载具对接故障检测模块；数据采集模块：通过多类型传感器实时获取高架穿梭车运行的目标数据；机械振动异常检测模块：基于所述目标数据对振动信号进行统计特征分析，识别机械部件的早期磨损或松动故障；本发明通过实时采集多维运行数据，得到了反映设备真实运行状态的高精度数据，达到了提前识别机械振动异常、定位偏差的早期故障隐患，将故障发现时间从事后维修提前至实时监测阶段，减少晶圆传输延误风险的好处。

本发明授权一种用于半导体制造的高架穿梭车自我故障检测系统在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体制造的高架穿梭车自我故障检测系统，其特征在于，包括激光测距传感器、三轴加速度传感器、编码器、视觉识别终端以及控制单元，具体包括： 数据采集模块：通过多类型传感器实时获取高架穿梭车运行的目标数据； 所述目标数据包括：通过所述激光测距传感器按200Hz频率输出车体横向偏移量；通过所述三轴加速度传感器同步输出振动加速度信号、以及，并对所述振动加速度信号进行50Hz低通滤波，去除环境噪声干扰；通过所述编码器实时反馈电机转速和累计脉冲数Nt；视觉识别终端每完成一次晶圆载具对接，采集定位销孔图像并计算图像坐标系下销孔中心坐标，通过标定矩阵转换为世界坐标系坐标； 机械振动异常检测模块：基于所述目标数据对振动信号进行统计特征分析，识别机械部件的早期磨损或松动故障； 定位偏差检测模块：通过理论轨迹与实际轨迹的对比进行故障判定，检测驱动系统的位移控制精度异常或机械卡滞； 所述理论轨迹：根据预设运行路径，基于电机转速与位移关系，计算理论位移，其中，表示电机转速，p表示电机丝杆螺距；所述实际轨迹：计算实际位移St=Nt0.01；所述对比用于计算实际位移与理论位移偏差，同时，通过激光测距数据计算横向偏移量累积误差，其中，n表示采样点数，和表示时刻和时刻的横向间距测量值；所述故障判定：当||＞0.5mm且＞0.3mm时，判定存在定位偏差故障，发出第二级预警信号； 运动平稳性检测模块：通过加加速度分析进行运动平稳性判定，识别驱动系统的控制稳定性异常； 晶圆载具对接故障检测模块：通过视觉定位技术检测高架穿梭车与晶圆存储或加工设备的对接精度，避免因对接偏差导致晶圆破损或污染。

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