长春电子科技学院徐子奇获国家专利权
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龙图腾网获悉长春电子科技学院申请的专利基于梯度研磨的铝基碳化硅超薄反射镜精密加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120480727B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510992123.6,技术领域涉及:B24B13/01;该发明授权基于梯度研磨的铝基碳化硅超薄反射镜精密加工方法是由徐子奇;高明辉;胡彦;阚晓婷;石广丰;王美娇;刘赟设计研发完成,并于2025-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于梯度研磨的铝基碳化硅超薄反射镜精密加工方法在说明书摘要公布了:本发明涉及精密研磨技术领域,具体涉及基于梯度研磨的铝基碳化硅超薄反射镜精密加工方法,用碳化硅与铝制备铝基碳化硅坯体,经退火4h后消除残余应力,机割倒角,得到粗加工后的铝基碳化硅坯体;在精密平面磨床中,将粗加工后的铝基碳化硅坯体分阶段梯度研磨,得到超薄镜片;在磁流变抛光机中将超薄镜片进行抛光,得到基于梯度研磨的铝基碳化硅超薄反射镜;其中,复合磨具由金刚石微粉表层、氧化铈纳米颗粒石墨烯复合中间层和弹性聚合物基底制备得到;采用复合磨具,通过弹性聚合物基底吸振,氧化铈纳米颗粒石墨烯中间层的化学软化和热管理、以及梯度结构设计,确保超薄反射镜的质量性能。
本发明授权基于梯度研磨的铝基碳化硅超薄反射镜精密加工方法在权利要求书中公布了:1.基于梯度研磨的铝基碳化硅超薄反射镜精密加工方法,其特征在于: S1.1:用65-67vol%碳化硅与33-35vol%铝制备铝基碳化硅坯体,经退火后消除残余应力,并机割倒角,得到粗加工后的铝基碳化硅坯体; S1.2:在精密平面磨床中,将粗加工后的铝基碳化硅坯体分粗磨阶段、半精磨阶段和精磨阶段三梯度研磨,调节砂轮、砂轮粒径、主轴转速、进给速度、轴向压力、冷却液流量、复合磨具,得到超薄镜片; S1.3:在磁流变抛光机中,通过抛光液将超薄镜片进行抛光,得到基于梯度研磨的铝基碳化硅超薄反射镜; 其中,复合磨具由金刚石微粉表层、复合中间层和弹性聚合物基底制备得到; 复合磨具制备的步骤具体为: S2.1:将聚二甲基硅氧烷预聚体与氧化铝纳米颗粒混合,超声分散30min后加入含氢硅氧烷交联剂和铂催化剂,真空脱泡并浇注固化成型,在80℃固化3h,得到聚二甲基硅氧烷基底,再置于氧等离子体处理设备中,设置功率50W,氧气流量50sccm,处理时间2min,得到活化基底,将活化基底浸泡在体积分数5%KH-550的乙醇溶液中30min,65℃烘干2h,得到弹性聚合物基底; S2.2:将氧化铈纳米颗粒、石墨烯和碳酸氢铵分散于异丙醇中,300W超声处理2h,再加入质量比3.3:1的环氧树脂和聚醚胺,得到混合浆料,将混合浆料3000rpm、30s旋涂于弹性聚合物基底表面,形成厚度为30μm的中间层,80℃固化1h,再在150℃固化3h,用去离子水冲洗后60℃烘干,得到氧化铈纳米颗粒石墨烯复合中间层; S2.3:将金刚石微粉浸入体积比为3:1的浓H2SO4和HNO3混合酸,80℃回流2h,离心洗涤至中性,70℃干燥,得到酸处理金刚石微粉,将酸处理金刚石微粉与氧化铈纳米颗粒按9:1质量比混合,再加入环氧树脂与甲基六氢苯酐得到混合料,将混合料通过刮刀涂覆于氧化铈纳米颗粒石墨烯复合中间层表面,得到涂覆厚度为50μm的金刚石微粉表层,最后加压固化,固化压力为0.5MPa,固化温度160℃,固化时间4h,得到复合磨具。
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