江苏弘晶源新材料科技有限公司徐煜清获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏弘晶源新材料科技有限公司申请的专利一种半导体硅片的石英扩散炉获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120273033B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510482006.5，技术领域涉及：C30B31/18；该发明授权一种半导体硅片的石英扩散炉是由徐煜清;徐源;徐传龙;冯维娥设计研发完成，并于2025-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体硅片的石英扩散炉在说明书摘要公布了：本发明属于硅片扩散技术领域，公开了一种半导体硅片的石英扩散炉，包括：炉体；气室，设置在炉体内腔上方，包括若干个均匀分布的出气口和若干个与气室滑动连接的出气管；防撞机构，设置在气室内部，包括对称设置在出气管外壁的圆杆，和抵接在圆杆外壁的挤压块；调节机构，设置在炉体内部，包括支撑板，通过斜面与支撑板联动的第三双楔杆、与第三双楔杆啮合的第二双楔杆、以及与第二双楔杆联动且可水平移动的第一双楔杆；所述圆杆末端固定安装有限位块，所述第一双楔杆末端延伸至限位块下方；当半导体硅片放于支撑板，挤压组件依硅片重量挤压限位块使出气管处于不同高度。本发明解决了现有设备在硅片尺寸调节后，影响扩散均匀性和良品率的问题。
本发明授权一种半导体硅片的石英扩散炉在权利要求书中公布了：1.一种半导体硅片的石英扩散炉，其特征在于，包括： 炉体1； 气室6，设置在炉体1内腔上方，包括若干个均匀分布的出气口9和若干个与气室6滑动连接的出气管8； 防撞机构，设置在气室6内部，包括对称设置在出气管8外壁的圆杆16，和抵接在圆杆16外壁的挤压块15； 调节机构，设置在炉体1内部，包括支撑板10，通过斜面20与支撑板10联动的第三双楔杆19、与第三双楔杆19啮合的第二双楔杆13、以及与第二双楔杆13联动且可水平移动的第一双楔杆12； 所述圆杆16末端固定安装有限位块18，所述第一双楔杆12末端延伸至限位块18下方；当半导体硅片放于支撑板10，挤压组件依硅片重量挤压限位块18使出气管8处于不同高度。
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