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龙图腾网获悉中国科学院新疆理化技术研究所;中科传感(佛山)科技有限公司申请的专利一种高灵敏热式流量传感元件及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119984427B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510274363.2，技术领域涉及：G01F1/692；该发明授权一种高灵敏热式流量传感元件及其制备方法是由孔雯雯;杨博;王鑫淼;窦盈莹;宋育贤;何啟铭设计研发完成，并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高灵敏热式流量传感元件及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种高灵敏热式流量传感元件及其制备方法，该传感元件是由流量芯片和流量通道件两大部分组成，为获得高灵敏性能优势，本发明选择具有高TCR特点的热敏薄膜作为测温单元材料，选择低厚度、低热导率、低热容量的材料作为芯片衬底；采用多层图形光刻和薄膜生长制备完成，制备完成的传感芯片中加热单元提供稳定的温度场，同时高灵敏度的测温单元更加精确、快速的实时测量温度场的变化，并根据温差信号获得流速和流向，有利于测量更低流速的流量。有效避免了传统硅基衬底流量传感芯片需通过刻蚀、减薄等复杂微纳加工工序才能实现灵敏度提升的问题，提升了热式流量传感芯片的性能和制备效率、极大地降低了成本，具有产业化推广价值。

本发明授权一种高灵敏热式流量传感元件及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高灵敏热式流量传感元件，其特征在于，该传感元件是由流量芯片1和流量通道件6两大部分组成，其中流量芯片1是由衬底2、绝缘层5、加热单元3，测温单元4组成，流量通道件6是由固定脚8和气流通道7组成；在流量芯片1的衬底2表面覆膜一层热敏薄膜层9，在热敏薄膜层9上的中心位置设置有绝缘层5，在绝缘层5上对称设置加热单元3，在热敏薄膜层9上等距离设置测温单元4，绝缘层5的中心镂空位置设置有测温单元4，在流量通道件6内设置一个气流通道7，流量通道件6内底部固定流量芯片1，在流量通道件6外底部设置对称的固定脚8，具体操作按下列步骤进行： a、将衬底2表面采用溅射、蒸镀或外延的方法生长一层热敏薄膜层9，并进行高温退火，温度200-850℃，在衬底2覆膜的热敏薄膜层9的中心位置通过光刻制备绝缘层5的图形掩膜，在完成光刻胶的剥离后进行退火处理，温度200-650℃，在绝缘层5表面进行光刻，并采用溅射、蒸镀或外延的方法生长加热单元3，完成光刻胶的剥离后在氮气气氛下进行退火处理，温度200-650℃，最后在热敏薄膜层9上通过光刻工艺制备图形化的电极，得到完整的测温单元4，完成流量芯片1； b、将流量芯片1固定在流量通道件6内底部，以便气流通入进行流量测试，当气流通道7中的气流流动时，流量芯片1中的加热单元3产生的温度场发生变化，两侧的测温单元4测量到温度变化，两个测温单元4的温差变化对应流体流速变化，其中气流流向不同时测温单元温差变化相反，以此判断流向。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院新疆理化技术研究所;中科传感(佛山)科技有限公司，其通讯地址为：830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市北京南路40号附1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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