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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利等离子体处理装置、基片处理系统和固定件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119856260B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202480003950.1，技术领域涉及：H01L21/3065；该发明授权等离子体处理装置、基片处理系统和固定件是由伊藤功英;网仓纪彦;喜多川大;濑口泰生设计研发完成，并于2024-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子体处理装置、基片处理系统和固定件在说明书摘要公布了：本发明提供一种使等离子体处理装置、基片处理系统的构成部件之间的拆装变得容易的技术。本发明提供一种包括腔室的等离子体处理装置。该装置包括：第一部件；第二部件；和固定件，其构成为能够将第一部件和第二部件以沿着轴向可拆装的方式固定在一起，该固定件包括固定于第一部件的凸型部件和固定于第二部件并且构成为能够接收凸型部件的凹型部件。凸型部件包括在轴向上延伸且在前端扩径的轴部件。凸型部件包括：固定于第二部件的收纳部件；配置于收纳部件内的保持部件；和被保持部件保持的球状部件。球状部件构成为当保持部件在轴向且为去往开口的方向的第一方向上移动时，能够被收纳部件的内壁的锥形部分引导而向径向的内侧移动。

本发明授权等离子体处理装置、基片处理系统和固定件在权利要求书中公布了：1.一种具有腔室的等离子体处理装置，其特征在于，包含： 第一部件； 第二部件；和 固定件，其构成为能够将所述第一部件和所述第二部件以沿着轴向可拆装的方式固定在一起，所述固定件包括：固定于所述第一部件的凸型部件；和固定于所述第二部件并且构成为能够接收所述凸型部件的凹型部件， 所述凸型部件包括在所述轴向上延伸且在前端扩径的轴部件， 所述凹型部件包含：固定于所述第二部件的收纳部件；配置于所述收纳部件内的保持部件；和被所述保持部件保持的球状部件， 所述收纳部件包含：用于接收所述凸型部件的所述轴部件的开口；和用于收纳所述保持部件和所述球状部件的收纳空间，规定所述收纳空间的所述收纳部件的内壁包括沿着作为所述轴向且为去往所述开口的方向的第一方向在径向上缩径的锥形部分， 所述保持部件构成为能够一边保持所述球状部件一边在所述收纳空间内沿着所述轴向移动， 所述球状部件构成为当所述保持部件在所述第一方向上移动时，能够被所述内壁的所述锥形部分引导而向所述径向的内侧移动。

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