西安奕斯伟材料科技股份有限公司袁力军获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请的专利检测外延晶圆的过渡区域厚度的方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119833424B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411812758.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权检测外延晶圆的过渡区域厚度的方法、装置、设备及介质是由袁力军;薛浩波;尚荔阳设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本检测外延晶圆的过渡区域厚度的方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了：本公开提供了一种检测外延晶圆的过渡区域厚度的方法、装置、设备及介质，该方法包括：提供一外延晶圆；针对外延晶圆的正表面的采样点，测量采样点处沿深度方向的材料力学性能参数；基于采样点处沿深度方向的材料力学性能参数确定外延晶圆的外延层与衬底之间的过渡区域的厚度。
本发明授权检测外延晶圆的过渡区域厚度的方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种检测外延晶圆的过渡区域厚度的方法，其特征在于，所述方法包括： 提供一外延晶圆，所述外延晶圆的衬底和外延层的掺杂浓度不同； 针对所述外延晶圆的正表面的采样点，测量所述采样点处沿深度方向的材料力学性能参数； 分别基于所述采样点处沿深度方向的材料力学性能参数，获得所述外延晶圆的正表面的每一个采样点处的外延层与所述衬底之间的过渡区域的厚度，所述每一个采样点处的外延层与所述衬底之间的过渡区域的厚度包括从所述外延层的材料力学性能参数区段变化至所述衬底的材料力学性能参数区段之间的厚度，且所述过渡区域的起点为每个所述采样点处，所述外延层的材料力学性能参数与所述衬底的材料力学性能参数之间的差值的5%的点，所述过渡区域的终点为每个所述采样点处，所述外延层的材料力学性能参数与所述衬底的材料力学性能参数之间的差值的95%的点；所述材料力学性能参数包括杨氏模量曲线或硬度曲线； 根据每一个所述采样点处的外延层与所述衬底之间的过渡区域的厚度获取所述外延晶圆的外延层与所述衬底之间的过渡区域的厚度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安奕斯伟材料科技股份有限公司，其通讯地址为：710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励