沈阳一冠新材料科技有限公司潘雪松获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳一冠新材料科技有限公司申请的专利一种钛铝合金靶材的机械加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119748067B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411976285.2，技术领域涉及：B23P17/00；该发明授权一种钛铝合金靶材的机械加工方法是由潘雪松;刘子轩设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钛铝合金靶材的机械加工方法在说明书摘要公布了：本发明涉及脆性合金Ti‑Al系金属间化合物机械加工技术领域，具体为一种钛铝合金靶材的机械加工方法，适于28nm线程以下规格芯片用纯度4N5以上高纯溅射靶材的制备。该方法对铸造后的靶坯采用恒定线速度数控车加工+轴向真空吸盘固定的方式，对钛铝合金靶坯进行表面加工。本发明通过优化靶坯夹持方式、数控加工工艺参数，避免脆性钛铝合金靶坯加工过程变形、崩角和表面粗糙度不均匀的问题，使钛铝合金靶材获得良好的尺寸控制和表面完整度，实现了脆性大、易变形钛铝合金靶材尺寸精度、导电性的稳定控制。
本发明授权一种钛铝合金靶材的机械加工方法在权利要求书中公布了：1.一种钛铝合金靶材的机械加工方法，其特征在于，首先采用的径向机械夹持方式，通过机械预紧力卡盘的径向机械压力卡爪对靶坯固定后进行车加工减薄，待两面平直度≤1mm和粗糙度≤Ra6.4μm满足基本轮廓度要求后，靶坯改为轴向真空吸盘固定，厚度减薄到单边余量为2.5~3.5mm后，对靶坯边缘进行圆角处理；再对靶坯的厚度进行恒定线速度加工方式减薄，通过转换前后面对靶坯厚度方向加工到规定厚度尺寸，边缘圆角随之加工去除；最后对靶坯的周向边缘的圆弧加工去除，获得尺寸合格的靶材。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沈阳一冠新材料科技有限公司，其通讯地址为：110042 辽宁省沈阳市大东区小什字街35-1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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