合肥安德科铭半导体科技有限公司张学奇获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥安德科铭半导体科技有限公司申请的专利一种Nb前驱体及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119708046B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411926904.7，技术领域涉及：C07F9/00；该发明授权一种Nb前驱体及其制备方法和应用是由张学奇;李丽君;张震;扈静;李建恒设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Nb前驱体及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明属于半导体加工技术领域，具体公开了一种Nb前驱体，所述Nb前驱体的化学结构由化学式Ⅰ表示：化学式ⅠMNR0[XCR1R2CR3R4aQR5R6]3。本发明提供一种Nb前驱体，该Nb前驱体不仅具有更好的热稳定性，能够满足更高温度的沉积需求，且该Nb前驱体在薄膜沉积中，薄膜中的C、N杂质含量更少。
本发明授权一种Nb前驱体及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种Nb前驱体，其特征在于，所述Nb前驱体的化学结构由化学式Ⅰ表示： 化学式Ⅰ MNR0[XCR1R2CR3R4aQR5R6]3； 其中，M为Nb； X选自O； Q选自N； R0选自C3-C5的烷基； R1-R6各自独立地选自H、C1-C8的烷基，且R1、R2、R3、R4不同时为H；a为1。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥安德科铭半导体科技有限公司，其通讯地址为：230000 安徽省合肥市高新区创新大道106号明珠产业园1号楼C区4层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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