浙江创芯集成电路有限公司郭东谕获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利晶圆贴膜设备及晶圆贴膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626966B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411455037.3，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权晶圆贴膜设备及晶圆贴膜方法是由郭东谕;陈聪;宋喆宏;李平;李扬设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆贴膜设备及晶圆贴膜方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种晶圆贴膜设备及晶圆贴膜方法，包括：设备底座，用于固定待覆膜晶圆，且放置带有DDAF膜的钢圈；定位装置，设置于所述设备底座，用于移动钢圈的位置至固定位置，以使所述钢圈的圆心与所述待覆膜晶圆的圆心对齐；所述定位装置包括：固定结构，固定于所述设备底座的一侧边缘位置处；移动结构，设置于所述设备底座上与所述固定结构相对的另一侧边缘位置处，在沿指向所述待覆膜晶圆的圆心的方向上，所述移动结构推动所述钢圈至所述固定结构，以使所述钢圈位于所述固定位置处；所述固定位置的圆心与所述覆膜晶圆的圆心相同。这样，可以提高待覆膜晶圆与钢圈圆心的同心度，提高镀膜工艺的质量。
本发明授权晶圆贴膜设备及晶圆贴膜方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆贴膜设备，其特征在于，包括： 设备底座，用于承载待覆膜晶圆，且放置带有DDAF膜的钢圈； 定位装置，设置于所述设备底座，用于移动钢圈的位置至固定位置，以使所述钢圈的圆心与所述待覆膜晶圆的圆心对齐； 所述定位装置包括：固定结构，固定于所述设备底座的一侧边缘位置处；移动结构，设置于所述设备底座上与所述固定结构相对的另一侧边缘位置处，在沿指向所述待覆膜晶圆的圆心的方向上，所述移动结构推动所述钢圈至所述固定结构，以使所述钢圈位于所述固定位置处； 所述固定位置的圆心与所述覆膜晶圆的圆心相同。
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