浙江创芯集成电路有限公司张严获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利加工处理方法、处理装置、制造系统、设备、介质及程序获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626946B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411296867.6，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权加工处理方法、处理装置、制造系统、设备、介质及程序是由张严设计研发完成，并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本加工处理方法、处理装置、制造系统、设备、介质及程序在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种加工处理方法、处理装置、制造系统、设备、介质及程序，加工处理方法包括：获取多个传输节点的配置信息，其中，多个传输节点配置于晶圆所在位置与目标位置之间，晶圆处于不同的传输节点时，晶圆与目标位置之间具有不同的高度差；响应于获取到的加工指令，根据配置信息，控制晶圆按照与多个传输节点对应的传输路径进行运动，以改变晶圆与目标位置之间的距离；其中，晶圆经过多个传输节点中的任一传输节点时，晶圆的传输速率达到最小；在监控到晶圆达到目标位置时，生成与加工指令相对应的加工控制信号，以对晶圆进行加工。采用上述技术方案，能够提高晶圆运动过程中的稳定性，进而提升晶圆的加工质量。
本发明授权加工处理方法、处理装置、制造系统、设备、介质及程序在权利要求书中公布了：1.一种加工处理方法，其特征在于，包括： 获取多个传输节点的配置信息，其中，所述多个传输节点配置于晶圆所在位置与目标位置之间，所述晶圆处于不同的传输节点时，所述晶圆与所述目标位置之间具有不同的高度差； 响应于获取到的加工指令，根据所述配置信息，控制晶圆按照与所述多个传输节点对应的传输路径进行运动，以改变所述晶圆与所述目标位置之间的距离；其中，所述晶圆经过所述多个传输节点中的任一传输节点时，所述晶圆的传输速率达到最小； 在监控到所述晶圆达到所述目标位置时，生成与所述加工指令相对应的加工控制信号，以对所述晶圆进行加工。
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