买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉泉芯半导体科技(无锡)有限公司申请的专利一种旋喷式晶圆湿法处理一体机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119525067B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411573361.5，技术领域涉及：B05B15/40；该发明授权一种旋喷式晶圆湿法处理一体机是由欧阳小泉设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种旋喷式晶圆湿法处理一体机在说明书摘要公布了：本发明公开一种旋喷式晶圆湿法处理一体机，其包括晶圆处理筒、喷淋机构、驱动机构、过滤机构和储液罐，晶圆处理筒具有处理腔，处理腔内设置有旋转架；驱动机构用于驱动旋转架旋转，喷淋机构用于将药液喷洒至晶圆上，过滤机构包括过滤箱和过滤件，排液管用于将处理后的混合液体排入过滤件中，储液罐用于储存过滤后的药液，处理后的混合液体经过滤件过滤后，药液进入腔体中，腔体内过滤后的药液经管路流入储液罐中。上述旋喷式晶圆湿法处理一体机通过喷淋机构、驱动机构、过滤机构和储液罐的配合，实现了混合液体的自动过滤、无需操作人员频繁操作、省时省力，同时回流至储液罐中的药液或清洗液经精过滤后还能够重复利用，大大降低了晶圆的处理成本。

本发明授权一种旋喷式晶圆湿法处理一体机在权利要求书中公布了：1.一种旋喷式晶圆湿法处理一体机，其特征在于，所述旋喷式晶圆湿法处理一体机包括机架以及设置在所述机架上的晶圆处理筒、喷淋机构、驱动机构、过滤机构和储液罐，其中： 所述晶圆处理筒具有供晶圆处理的处理腔，所述处理腔内可转动地设置有用于承载待处理的晶圆的旋转架；所述驱动机构的固定端安装在所述晶圆处理筒上，所述驱动机构的驱动端伸入所述处理腔内并连接所述旋转架，所述驱动机构被配置为驱动所述旋转架旋转，以带动待处理的晶圆转动； 所述喷淋机构安装在所述晶圆处理筒上，所述喷淋机构被配置为将药液或清洗水喷洒至位于所述处理腔内的晶圆上，以将所述晶圆表面实施处理； 所述过滤机构包括过滤箱和过滤件，所述过滤箱通过排液管与所述处理腔相连通，所述排液管被配置为将位于所述处理腔内实施处理后的混合液体排入过滤件中，所述过滤件上开设有多个过滤孔，所述过滤件与所述过滤箱之间形成用于暂存过滤后的药液或清洗水的腔体，所述储液罐被配置为储存过滤后的药液或清洗水，所述腔体通过管路与所述储液罐相连通，处理后的混合液体经所述过滤件过滤后，所述药液或清洗水进入所述腔体中，所述腔体内过滤后的药液或清洗水经管路流入所述储液罐中。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人泉芯半导体科技(无锡)有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市惠山经济开发区华清创智园14-401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。