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龙图腾网获悉中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司申请的专利一种处理六氟化钨合成尾气的系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119345851B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411725451.1，技术领域涉及：B01D53/04；该发明授权一种处理六氟化钨合成尾气的系统及方法是由李海军;路光辉;张星池;朱姜涛;马朝选;张威;崔坤洋设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种处理六氟化钨合成尾气的系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种处理六氟化钨合成尾气的系统，包括进气管道；所述进气管道的一端与六氟化钨合成尾气排放管相连通，所述进气管道的另一端分为两路管路，两路管道分别连接吸附塔A和吸附塔B，所述的吸附塔A和吸附塔B并联设置，所述吸附塔A和吸附塔B顶部均连接废气吸收塔，所述吸附塔A和吸附塔B底部均连接等离子体反应器，所述等离子体反应器出口连接产品收集罐。本发明涉及一种处理六氟化钨合成尾气的方法，包括尾气吸收和吸附塔再生步骤。本发明实现微量NF3与高纯钨粉反应，进一步回收尾气中的NF3，降低WF6生产成本和尾气处理成本。

本发明授权一种处理六氟化钨合成尾气的系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种处理六氟化钨合成尾气的方法，其特征在于：包括进气管道0；所述进气管道0的一端与六氟化钨合成尾气排放管相连通，所述进气管道0的另一端分为两路管路，两路管道分别连接吸附塔A1和吸附塔B2，所述的吸附塔A1和吸附塔B2并联设置，所述吸附塔A1和吸附塔B2顶部均连接废气吸收塔19，所述吸附塔A1和吸附塔B2底部均连接等离子体反应器4，所述等离子体反应器4出口连接产品收集罐； 包括以下步骤： S1、尾气吸收：打开吸附塔A1进口的吸附塔A进口阀7和顶部吸附塔A出口阀8，将六氟化钨合成反应的尾气通入吸附塔A1，尾气中的NF3和WF6被吸附在吸附剂表面，氮气通过顶部管道进入废气吸收塔19从顶部烟囱排放，当废气吸附塔A1顶部压力达到一定数值时，吸附剂饱和，关闭吸附塔A1进口吸附塔A进口阀7和顶部吸附塔A出口阀8，吸附塔A1进入再生阶段，同时打开吸附塔B2进口吸附塔B进口阀10和顶部吸附塔B出口阀11，吸附塔B2进入吸附阶段； S2、吸附塔再生：等离子体反应器4中加入钨粉，启动等离子体反应器4，打开吸附塔A1底部吸附塔A再生阀9和旁通阀13，吸附塔A1中含氟气体进入等离子体反应器4并在高温下发生电离，分解出的F-与钨粉反应生成WF6产品；WF6随气流进入低温产品收集罐冷凝收集并与氮气进行分离，分离后的氮气进入废气吸收塔19从顶部烟囱排放； 当吸附塔A1的压力降到常压时，关闭旁通阀13，开启真空泵3使吸附塔A1进一步实现负压解析再生，当吸附塔压力达到-0.098MPa时，再持续抽真空1小时后关闭等离子体反应器4和真空泵3，吸附塔A1再生结束，准备进入下一次吸收阶段； S3、吸附塔交替运行：吸附塔A1和吸附塔B2重复上述步骤，反复交替运行。

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