宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种钴铁硼靶材及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119260002B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411539336.5,技术领域涉及:B22F3/15;该发明授权一种钴铁硼靶材及其制备方法与应用是由姚力军;杨慧珍;廖培君;周友平设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钴铁硼靶材及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本发明涉及一种钴铁硼靶材及其制备方法与应用,所述制备方法包括以下步骤:混合原料后,依次进行冷等静压成型、合金化、破碎和烧结,得到所述钴铁硼靶材;所述合金化包括一段煅烧、二段煅烧和三段煅烧;所述一段煅烧的升温终点温度为150℃‑250℃;所述二段煅烧的升温终点温度为400℃‑600℃;所述三段煅烧的升温终点温度为750℃‑900℃。本发明直接将原料混合成型,再通过合金化的三段煅烧,将原料转化为合金化后钴铁硼坯体,将合金化后钴铁硼坯体依次进行破碎和烧结,进一步提高了钴铁硼的均匀性和致密度。因此,通过本发明的制备方法得到的钴铁硼靶材,成分均匀,致密度高,满足磁控溅射对靶材的要求,同时提高了成材率,降低了生产成本。
本发明授权一种钴铁硼靶材及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种钴铁硼靶材的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤: 混合原料后,依次进行冷等静压成型、合金化、破碎和烧结,得到所述钴铁硼靶材; 所述合金化包括一段煅烧、二段煅烧和三段煅烧; 所述一段煅烧的升温终点温度为150℃-250℃; 所述二段煅烧的升温终点温度为400℃-600℃; 所述三段煅烧的升温终点温度为750℃-900℃; 所述三段煅烧的保温时间为2h-5h; 所述合金化的气氛为真空气氛; 所述原料包括铁源、硼源和钴源; 所述铁源、硼源和钴源的摩尔比为15-20:60-65:15-25。
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