北京量子信息科学研究院崔文强获国家专利权
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龙图腾网获悉北京量子信息科学研究院申请的专利一种超高真空内样品在不同样品架的转移方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118883977B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411305785.3,技术领域涉及:G01N35/10;该发明授权一种超高真空内样品在不同样品架的转移方法及系统是由崔文强;林海城;常凯设计研发完成,并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超高真空内样品在不同样品架的转移方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种超高真空内样品在不同样品架的转移方法及系统,包括以下步骤S1:使用Omicron转换架在OmicronMBE系统的超高真空腔体内完成薄膜生长;S2:将超高真空便携腔通过锥形转接法兰安装到OmicronMBE系统的Loadlock上,通过烘烤除气将Loadlock抽至超高真空,将生长完毕的Omicron转换架传入OmicronMBE系统的Loadlock中;S3:打开手动闸板阀,将超高真空便携腔内的存样台向下伸入OmicronMBE系统的Loadlock。本发明通过设计兼容式样品托,实现了将OmicronMBE系统上生长的样品能够在不拿出超高真空的情况下,原位传入UnisokuSTM系统内进行STM测量,解决了Omicron薄膜生长系统中生长的二维样品无法原位指不拿出超高真空在UnisokuSTM系统上研究的问题。
本发明授权一种超高真空内样品在不同样品架的转移方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种超高真空内样品在不同样品架的转移系统,其特征在于:包括超高真空便携腔1,所述超高真空便携腔1上分别安装有第一传样杆104和第二传样杆103,第一传样杆104的输出端固定有存样台1041,第二传样杆103的输出端固定有机械抓手1031; 所述存样台1041上设有两个存放位,两个存放位上分别存放有Unisoku转换托5和Omicron转换托6,Unisoku转换托5和Omicron转换托6上均设有与样品转换托8对应匹配的快拆结构,通过机械抓手1031可将样品转换托8从Unisoku转换托5和Omicron转换托6上取下和安装上; 第一传样杆104固定在超高真空便携腔1的顶端,超高真空便携腔1的底端连接有锥形转接法兰106,且锥形转接法兰106与超高真空便携腔1之间设有手动闸板阀105; 所述第一传样杆104竖直设置,第二传样杆103水平设置,且第一传样杆104和第二传样杆103的轴线共面; 所述超高真空便携腔1上安装有小型泵101; 所述存样台1041上Unisoku转换托5和Omicron转换托6的样品转换托8连接位置朝向不同方向。
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