西安奕斯伟材料科技股份有限公司李安杰获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请的专利晶圆及其粗糙度的改善方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118876250B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411114022.0，技术领域涉及：B28D5/04；该发明授权晶圆及其粗糙度的改善方法、装置、设备及介质是由李安杰;兰洵;张婉婉设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆及其粗糙度的改善方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了：本公开提供了一种晶圆及其粗糙度的改善方法、装置、设备及介质；该方法包括：当完成线切割工序的裸晶圆在目标波长范围的粗糙度大于或等于设定的粗糙度阈值时，基于当前使用的切割浆料中用于线切割工序的磨料颗粒与正多面体的几何相似度确定用于表征所述当前使用的切割浆料的切割能力的指标值；当所述指标值小于或等于设定的性能阈值，向执行线切割工序的设备中补充新的切割浆料。
本发明授权晶圆及其粗糙度的改善方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆粗糙度的改善方法，其特征在于，所述方法包括： 通过扫描电子显微镜扫描当前使用的切割浆料，以采集得到在所述当前使用的切割浆料中的多个磨料颗粒的微观图像； 当完成线切割工序的裸晶圆在目标波长范围的粗糙度大于或等于设定的粗糙度阈值时，基于当前使用的切割浆料中用于线切割工序的磨料颗粒与正多面体的几何相似度确定用于表征所述当前使用的切割浆料的切割能力的指标值； 当所述指标值小于或等于设定的性能阈值，向执行线切割工序的设备中补充新的切割浆料； 其中，所述基于当前使用的切割浆料中用于线切割工序的磨料颗粒与正多面体的几何相似度确定用于表征所述当前使用的切割浆料的切割能力的指标值，包括： 通过对采集的每个磨料颗粒的微观图像进行图像分析，获得所述采集的每个磨料颗粒的最大对角线长度； 获取采集的所有磨料颗粒与正多面体的几何相似度的中位值； 获取所述采集的所有磨料颗粒的最大对角线长度的方差； 根据所述采集的所有磨料颗粒与正多面体的几何相似度的中位值以及所述采集的所有磨料颗粒的最大对角线长度的方差获取所述用于表征所述当前使用的切割浆料的切割能力的指标值。
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