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龙图腾网获悉中山智隆新材料科技有限公司申请的专利一种ICO靶材及其制备方法与应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118598638B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410595081.8，技术领域涉及：C04B35/01；该发明授权一种ICO靶材及其制备方法与应用是由高洋;李强;葛春桥设计研发完成，并于2024-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种ICO靶材及其制备方法与应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种ICO靶材及其制备方法与应用。涉及溅射靶材技术领域。上述ICO靶材，按摩尔百分比计，包括以下组分：Ce：0.5％～2.5％；Al：0.05％～0.2％；Si：0.05％～0.25％；In：97～99.5％。本发明在原有Ce掺杂的ICO靶材基础上引入Al、Si元素，通过调控ICO靶材中各元素的用量，从而实现了ICO靶材的高密度性能。

本发明授权一种ICO靶材及其制备方法与应用在权利要求书中公布了：1.一种ICO靶材，其特征在于：按摩尔百分比计，具有以下组分： In：98.87%、Ce：1.00%、Al：0.08%、Si：0.05%； 或者，In：98.25%、Ce：1.50%、Al：0.15%、Si：0.10%； 或者，In：97.42%、Ce：2.50%、Al：0.05%、Si：0.03%； 或者，In：99.20%、Ce：0.50%、Al：0.15%、Si：0.15%； 或者，In：97.25%、Ce：2.50%、Al：0.15%、Si：0.10%； 或者，In：98.00%、Ce：1.85%、Al：0.10%、Si：0.05%； 或者，In：97.10%、Ce：2.50%、Al：0.15%、Si：0.25%； 其中，Ce、Si和Al的共同作用会形成Ce～Si～Al相；Ce和In的共同作用会形成CeIn3相；Ce和Si的共同作用会形成Ce3Si5相； 所述ICO靶材的制备方法，具有以下步骤： S1将含有Ce、Al、Si和In的化合物混合于溶剂中，经球磨，得到混合浆料； S2将混合浆料置于密闭容器，经真空除泡，得到处理浆料； S3使处理浆料流入模具，调节气压为0.2MPa~0.5MPa，经保压静置后进行干燥处理，得成型素坯； S4将成型素坯烧结，得到所述ICO靶材； 步骤S4中，所述烧结的为三步烧结，第一步烧结的温度为1600℃~1700℃，第二步烧结的温度为1450℃~1550℃，第三步烧结的温度为1100℃~1250℃； 第二步烧结和第三步烧结时，还包括以下步骤：通入氧气，通入速度为20~35Lmin，压强为3.0~3.5kgcm2。

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