株式会社斯库林集团安陪裕滋获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利减压干燥装置及减压干燥方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118385100B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410102438.4，技术领域涉及：B05D3/00；该发明授权减压干燥装置及减压干燥方法是由安陪裕滋;秋冈知辉设计研发完成，并于2024-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本减压干燥装置及减压干燥方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种对发生于形成有涂覆膜的基板的四角附近的干燥不均进行抑制的减压干燥装置及方法。减压干燥装置1用于使涂覆于具有矩形状的基板9的上表面的有效区域AE的涂覆膜90干燥。减压干燥装置1包括容纳基板的腔室10、从腔室10吸引气体使腔室10内的压力降低的减压机构30、对与基板相对的冷却面40a进行冷却的冷却部40。冷却部的冷却面40a包括与基板9的从有效区域AE的外缘向内侧离开的内侧部分PI相对的内侧区域AI、与基板的有效区域AE的四角部分PC相对的四角区域AC。冷却部构成为，使冷却面40a的四角区域AC的温度低于冷却面的内侧区域AI的温度。
本发明授权减压干燥装置及减压干燥方法在权利要求书中公布了：1.一种减压干燥装置，使涂覆于具有矩形状的基板的上表面的有效区域的涂覆膜干燥，其中，具有： 腔室，容纳所述基板； 减压机构，从所述腔室吸引气体，使所述腔室内的压力降低； 支撑部，在所述腔室内支撑所述基板；以及 冷却部，对与由所述支撑部支撑的所述基板相对的冷却面进行冷却， 所述冷却部的所述冷却面包括： 内侧区域，与所述基板的从所述有效区域的外缘向内侧离开的内侧部分相对；以及 四角区域，与所述基板的所述有效区域的四角部分相对， 所述冷却部构成为，使所述冷却面的所述四角区域的温度低于所述冷却面的所述内侧区域的温度， 所述冷却面与所述基板的所述上表面相对， 所述减压干燥装置还具有升降部，所述升降部使所述支撑部升降，以使所述冷却部的所述冷却面和所述基板之间的间隔能够为小于或等于10mm的第一间隔和比所述第一间隔宽的第二间隔中的任一个。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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