上海玄亨科技股份有限公司朱宁获国家专利权
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龙图腾网获悉上海玄亨科技股份有限公司申请的专利一种复合绝缘体基板、其制备方法及静电吸盘装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118324496B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410415401.7，技术领域涉及：C04B35/10；该发明授权一种复合绝缘体基板、其制备方法及静电吸盘装置是由朱宁;郭盛;徐圣杰设计研发完成，并于2024-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种复合绝缘体基板、其制备方法及静电吸盘装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种复合绝缘体基板、其制备方法及静电吸盘装置。复合绝缘体基板包括陶瓷主体及嵌入陶瓷主体内部的导电元器件。陶瓷主体和导电元器件均包含选自变价金属Mn、Zr、Co、Cr、Ti、V、Fe构成的含氧化合物、含氮化合物、含碳化合物和含磷化合物中的至少一种变价金属化合物烧结助剂，有效促进了复合绝缘体基板的烧结致密度；同时采用等离子放电二步升温法烧结工艺，获得了细晶化的陶瓷微观结构。本发明提供的复合绝缘体基板具有致密而细晶化的微观结构显著提高了静电吸附力的均匀性，增强了陶瓷主体与内部导电元器件之间的界面结合强度，延长了使用寿命，适用于半导体制造等高端应用场景。
本发明授权一种复合绝缘体基板、其制备方法及静电吸盘装置在权利要求书中公布了：1.一种复合绝缘体基板，其特征在于，包括： 陶瓷主体；以及 嵌入陶瓷主体内部的导电元器件； 所述陶瓷主体至少包含陶瓷主材及烧结助剂； 所述陶瓷主材包括Al2O3、Y2O3、AlN、BN、SiC中的至少一种； 所述烧结助剂包含变价金属化合物烧结助剂，所述变价金属化合物烧结助剂包含由变价金属构成的含氧化合物、含氮化合物、含碳化合物和含磷化合物中的至少一种；所述变价金属包含Mn、Zr、Co、Cr、Ti、V、Fe中的至少一种； 所述导电元器件至少由导电金属粉体及陶瓷粉体形成，所述陶瓷粉体均匀分布于导电金属粉体中；所述陶瓷粉体包含所述陶瓷主材及所述变价金属化合物烧结助剂；所述导电元器件中，所述变价金属化合物烧结助剂用量占所述导电金属粉体总质量的0.5～20wt%。
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