苏州威达智科技股份有限公司刘曜轩获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州威达智科技股份有限公司申请的专利一种晶圆隐裂缺陷系统及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118280858B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410290337.4，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种晶圆隐裂缺陷系统及检测方法是由刘曜轩;黄海亭;刘青函;李强;张华;冯宇恒;齐广亮设计研发完成，并于2024-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆隐裂缺陷系统及检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开的一种晶圆隐裂缺陷检测方法，包括棱镜相机；棱镜相机下方设置有显微成像系统，显微成像系统一侧设置有照明系统，照明系统一侧设置有时间调制照明器；显微成像系统底部设置有物面；时间调制照明器端部设置有光纤头，光纤头端部设置有滤色轮；通过采用特殊定制的时间调制照明器，不同打光方位角的光线进行颜色编码，同时结合成像系统的定制视场光阑，完成因隐裂缺陷所致的晶圆上表面不同倾斜角度的检测，实现对晶圆隐裂缺陷检测。
本发明授权一种晶圆隐裂缺陷系统及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆隐裂缺陷检测系统，包括：棱镜相机；其特征在于， 所述棱镜相机下方设置有显微成像系统，所述显微成像系统一侧设置有照明系统，所述照明系统一侧设置有时间调制照明器； 所述显微成像系统底部设置有物面； 所述时间调制照明器端部设置有光纤头，所述光纤头端部设置有滤色轮； 所述光纤头内部设置有多个光纤，多个光纤沿光纤头周向均匀分布； 所述光纤包括至少一个中心光纤与多个外围光纤，相邻的两个所述外围光纤之间的角度相同，所述外围光纤设置在中心光纤的外侧； 所述外围光纤分为至少两组，不同组外围光纤交错分布，同一组内的相邻两个外围光纤之间的角度相同； 所述滤色轮中间设置有孔洞，所述滤色轮位于孔洞的外侧间隔设置有两组R滤色片、G滤色片与B滤色片； 第一组外围光纤对应一组R滤色片、G滤色片与B滤色片，第二组外围光纤对应另一组R滤色片、G滤色片与B滤色片。
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