深圳前海石墨烯产业有限公司潘登获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳前海石墨烯产业有限公司申请的专利一种图案化石墨烯硅晶圆制备方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117842994B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410027731.9，技术领域涉及：C01B33/02；该发明授权一种图案化石墨烯硅晶圆制备方法及设备是由潘登;李炜康设计研发完成，并于2024-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种图案化石墨烯硅晶圆制备方法及设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种图案化石墨烯硅晶圆制备方法，包括以下步骤：对硅晶圆表面进行活化处理；使用石墨烯分散液在所述硅晶圆上涂覆特定的图案，形成石墨烯分散液膜，所述分散液为氧化石墨烯或石墨烯；将涂覆完成的后的石墨烯分散液膜晾干，形成氧化石墨烯膜；对氧化石墨官能化的氧化烯膜加热固化处理；将加热后的硅晶圆置于还原性气氛下；通过激光对置于还原性气氛下氧化石墨烯膜照射，得到生长了图案化石墨烯的硅晶圆；通过本发明的方法，形成了图案化的石墨烯硅晶圆，从而实现了工业上的应用。
本发明授权一种图案化石墨烯硅晶圆制备方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种图案化石墨烯硅晶圆的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤S1、对硅晶圆表面进行活化处理，使硅晶圆具有含氧位点；对硅晶圆表面进行活化处理的方法为高温加热处理、等离子轰击处理和食人鱼溶液处理的一种或几种； 步骤S2、使用石墨烯分散液在所述硅晶圆上涂覆特定的图案，形成氧化石墨烯分散液膜，所述分散液为氧化石墨烯或官能化的氧化石墨烯； 步骤S3、将涂覆完成后的石墨烯分散液膜晾干，形成氧化石墨烯膜； 步骤S4、对氧化石墨烯膜加热固化处理； 步骤S5、将加热后的硅晶圆置于还原性气氛下；将硅晶圆置于还原性气氛后进行150-400度加热； 步骤S6、通过激光对置于还原性气氛下氧化石墨烯膜照射，得到生长了图案化石墨烯的硅晶圆。
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